Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9289904 à vendre en France
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KLA/TENCOR Alpha Step 200 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu spécifiquement pour caractériser les propriétés des plaquettes et des structures de dispositifs à l'échelle nanométrique. Le système fonctionne à l'aide d'une combinaison de la microscopie électronique à balayage (SEM), de la microscopie à force atomique (AFM) et des technologies de profilométrie de surface. L'unité dispose d'une machine d'imagerie monochrome haute résolution avec un design robuste qui fournit une qualité d'image fiable et cohérente. L'outil d'imagerie comprend un 60kV détecteur d'électrons secondaire et une large gamme de modes d'imagerie tels que SIM optique, SEM et SEM/AFM. Il utilise un détecteur EDS à haute efficacité qui offre une excellente sensibilité, une excellente résolution spatiale et une collecte multicanal passive rapide de spectres de rayons X pour analyser la composition de la plaquette. L'actif offre un modèle de navigation d'échantillons automatisé et défini par l'utilisateur qui permet une imagerie rapide et sans contact de la plaquette. Il dispose également d'un équipement de focalisation automatique multi-axes à grande vitesse qui permet une imagerie très précise et répétable sans intervention de l'utilisateur. Le système permet de sélectionner automatiquement des paramètres d'imagerie pour différents types de mesures, et permet une intégration complète avec les spectres KLA et les analyseurs de wafer polarimétriques. KLA ALPHASTEP 200 offre un certain nombre d'autres caractéristiques conçues pour améliorer la caractérisation des plaquettes. Il offre une unité de traitement de données paramétriques sous-nanométriques qui permet d'améliorer la précision des mesures ainsi que l'analyse automatisée des plaquettes. La machine est également capable d'optimiser l'acquisition spectrale, le stockage et la visualisation. De plus, l'outil comprend des processeurs et des logiciels pour analyser les données, déterminer la répétabilité et permettre un partage rapide des résultats avec d'autres systèmes. TENCOR ALPHA-STEP 200 est conforme aux normes de l'industrie telles que SEMI, PIES et Imec, ce qui en fait un choix idéal pour une gamme d'applications. Avec sa conception robuste et ses fonctionnalités avancées, l'actif fournit une solution robuste et puissante pour la caractérisation à l'échelle nanométrique.
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