Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 250 #9284473 à vendre en France
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L'équipement de test et de métrologie KLA/TENCOR Alpha Step 250 fournit des mesures ultra-rapides et précises des structures de circuits intégrés (IC) et des couches de processus sur les plaquettes semi-conductrices. Il est équipé d'un interféromètre à lumière blanche sans contact, qui utilise des techniques optiques avancées pour mesurer les propriétés de surface, telles que la topographie et la rugosité des plaquettes semi-conductrices, du micron à l'échelle angström. Le système prend également en charge d'autres techniques de métrologie, comme le faisceau d'ions focalisés intégrés (FIB) et le transport d'espèces ionisées (TIS), pour des mesures précises et précises des couches de dispositifs et des structures de circuits. L'unité est très fiable, avec erreur de répétabilité totale (TRRE) inférieure à 4 % pour les plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. En utilisant KLA Alpha Step 250, les mesures de plaquettes peuvent être effectuées à la vitesse de ligne, avec un débit maximum de 150 plaquettes par heure, avec une vitesse de traitement d'image améliorée de 10 us/pixel. Ses algorithmes d'apprentissage profond intégrés permettent des mesures précises et efficaces, tandis que sa reconnaissance intelligente des couches permet l'identification des couches et des processus pendant le post-traitement. TENCOR Alpha Step 250 fournit des capacités de mesure complètes, y compris l'électro-microscopie à balayage (SEM), les tests I-V et l'extraction de paramètres. De plus, sa large plage de température de fonctionnement entre 25 et 85 ° C permet à la machine de travailler dans une grande variété de conditions environnementales. Son automatisation intégrée à bord permet l'imagerie de surface supérieure et l'inspection des défauts dans un flux continu et automatisé. Alpha Step 250 est également convivial et facilement configurable, ce qui permet de le personnaliser pour diverses applications. Il prend en charge une variété d'outils de post-traitement, tels que des algorithmes basés sur des graphes pour l'extraction automatisée des caractéristiques topographiques, des méthodes statistiques non paramétriques pour l'analyse de la classification fondée sur les défauts et des techniques de visualisation pour un examen facile des données des plaquettes. La plateforme fournit également une interface utilisateur intuitive basée sur le Web, permettant aux utilisateurs de contrôler, surveiller et configurer facilement l'outil à partir de n'importe quel endroit distant. KLA/TENCOR Alpha Step 250 est l'un des systèmes d'essai et de métrologie de plaquettes les plus avancés et les plus précis. Avec son balayage de haute précision, sa vitesse accrue et ses outils de post-traitement polyvalents, il est un excellent choix pour les applications de test de plaquettes.
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