Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 300 #9162861 à vendre en France

KLA / TENCOR Alpha Step 300
ID: 9162861
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KLA/TENCOR Alpha Step 300 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. KLA Alpha Step 300 est un outil d'inspection fonctionnant en « microscope inversé à champ lumineux », offrant une variété de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs d'optimiser à la fois les performances et la vitesse de mesure. Le Pas Alpha fournit l'inspection lors d'une conduite de l'industrie 0.5μm la résolution avec la surveillance de foyer automatisée et le bruit et la suppression de défaut, en tenant compte de l'analyse fiable de matériel de haut rapport de forme tel que les Nanotubes de Carbone et les appareils MEMS. Les technologies Advanced Photon Counting et Advanced Photon Counting Split Beam garantissent des résultats précis et reproductibles, même en milieu sombre. L'Alpha Step utilise une configuration propriétaire chrome-sur-quartz, qui a un avantage sur l'optique Baumeister classique. Il en résulte une imagerie plus rapide et de meilleure qualité et un meilleur débit de production en volume. Le système peut effectuer des mesures 3D en plus des mesures 2D traditionnelles pour des résultats plus précis. Il a également été conçu pour mesurer les transistors « FinFET », utilisés dans les derniers procédés de fabrication. TENCOR ALPHASTEP 300 est idéal pour la métrologie des défauts au niveau des plaquettes, ainsi que pour la surveillance du rendement de production. Il offre une large gamme de fréquences pour l'analyse avancée des défauts en temps réel, le dimensionnement et la cartographie des paramètres critiques. L'analyse automatisée des images sonores aide à mesurer avec précision l'épaisseur des couches minces. L'unité dispose de différents niveaux d'automatisation avancée, comme le chargement d'échantillons avant, pour répondre aux besoins des environnements de production à haut volume. Pour des applications spécifiques, ALPHASTEP 300 peut être intégré à des systèmes de métrologie avancés, tels que leurs systèmes de balayage automatique WaferMapper et ReticleMapper. Cela permet une collecte de données corrélée et automatisée et offre un débit accru, une meilleure précision et une meilleure résolution des défauts. KLA ALPHASTEP 300 offre également aux clients une interface de manutention de plaquettes universelle pour le chargement de plaquettes de hauteur et de taille variables avec l'avantage supplémentaire d'une fonction de traction et de poussée qui permet d'appliquer une pression et une température uniformes à la surface de l'échantillon pendant le chargement et le déchargement. Dans l'ensemble, TENCOR Alpha Step 300 est une machine d'essai et de métrologie de plaquettes fiable et facile à utiliser, qui permet des mesures précises et répétables à haut débit, adaptées aux petits et grands projets.
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