Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 500 #180058 à vendre en France
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KLA/TENCOR Alpha Step 500 est un équipement de mesure et de métrologie de plaquettes conçu pour optimiser le contrôle des procédés de fabrication des semi-conducteurs. Il permet de mesurer rapidement la topographie critique et les caractéristiques des wafers dans les environnements de production et de R-D. KLA Alpha Step 500 dispose d'une précision sous-nanométrique, d'une reconnaissance rapide des motifs et d'une flexibilité pour mesurer une variété de matériaux de plaquettes. Il dispose également de tâches automatisées qui peuvent être configurées, permettant un fonctionnement facile et fiable. La technologie innovante « Step per Step » utilise un cantilever piézoélectrique comme tête de balayage pour mesurer à la fois la topographie et les caractéristiques du dispositif d'une seule couche d'aluminium. Il peut capturer des profils de motifs arbitraires avec une précision sous-nanométrique et suivre les étapes de migration. En outre, son temps de réponse rapide permet à l'utilisateur de quantifier rapidement la rugosité de surface et d'analyser les tendances du profil. Cela permet une surveillance en ligne des processus de fabrication des plaquettes. TENCOR ALPHASTEP 500 peut mesurer divers autres matériaux semi-conducteurs, tels que le poly-silicium, les semi-conducteurs composés et les matériaux III-V, ainsi que différents types de matériaux tels que les alliages métalliques. Ceci permet de caractériser différents types de plaquettes. Les moteurs à haut rendement réduisent l'effort de poursuite, permettant la mesure de structures optiques arbitraires. Ceci, combiné à la zone de balayage flexible, rend KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 adapté à une variété de tailles et de formats de plaquettes. Le TENCOR Alpha Step 500 est facilement intégré aux outils de contrôle des processus de pointe, y compris un système d'imagerie thermique à haute résolution à l'échelle nanométrique, qui est un élément clé pour la surveillance des environnements contrôlés par la température. Ses outils logiciels très avancés permettent aux utilisateurs de contrôler et d'analyser les données obtenues à partir de mesures sur l'ensemble de la plaquette. Il dispose d'une interface utilisateur graphique conviviale, permettant un fonctionnement simple et intuitif de l'unité. KLA ALPHASTEP 500 est une machine de mesure et de métrologie puissante et polyvalente, offrant des résultats supérieurs et fiables même dans des environnements de production exigeants. Il est très fiable, assure une mesure précise des plaquettes et offre la flexibilité nécessaire pour répondre à un large éventail d'exigences d'application. Il offre un moyen économique, fiable et convivial d'optimiser le contrôle des procédés de fabrication des semi-conducteurs.
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