Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 500 #189545 à vendre en France
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KLA/TENCOR Alpha Step 500 wafer testing and metrology equipment est un outil utilisé pour caractériser et surveiller le développement de matériaux en couches minces en mesurant la profondeur des films et des superpositions sur les plaquettes semi-conductrices. Le système combine plusieurs techniques de métrologie avancées, telles que la microscopie à force atomique (AFM), l'ellipsométrie et la spectroscopie, pour fournir une caractérisation détaillée des couches minces. KLA Alpha Step 500 dispose d'un mécanisme de balayage de haute précision qui lui permet de mesurer les couches minces jusqu'à une précision de niveau nanométrique. L'instrument est capable de scanner dans 50, 100, 150, 200 et 250nm incréments pour des mesures de profondeur précises. L'unité est également capable de mesurer l'épaisseur des films à des épaisseurs aussi faibles que 200nm et peut identifier des variations subtiles de l'épaisseur des films minces jusqu'à des incréments de 1nm. De plus, la machine est capable d'analyser une variété de matériaux pelliculaires dont l'aluminium, le cuivre, l'oxyde de zinc et le nitrate de tantale. L'outil TENCOR ALPHASTEP 500 est également capable de mesurer les taux de dépôt des films afin de suivre le développement des couches minces. Par exemple, l'actif peut mesurer le taux de dépôt d'un film dans le temps, ce qui permet aux développeurs d'ajuster le taux de croissance du matériau (par exemple, augmenter ou diminuer le taux de croissance) afin d'optimiser les caractéristiques souhaitées. De plus, ALPHASTEP 500 a la capacité de mesurer l'indice de réfraction du matériau testé, ce qui peut fournir des informations sur les caractéristiques physiques du film. KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 a également la capacité de surveiller la contamination de surface, qui peut être un facteur clé dans la performance globale d'une puce. Le modèle est capable de mesurer des particules de surface jusqu'à 0,7 micron de diamètre et peut détecter la présence de contaminants tels que la poussière et les particules d'eau. De plus, l'équipement a la capacité d'identifier et de mesurer la taille et la forme des particules afin de fournir une caractérisation précise et complète du film mince. En plus de fournir un aperçu détaillé des surfaces des plaquettes pendant la production, TENCOR Alpha Step 500 peut également être utilisé pour inspecter les produits finis pour détecter la contamination par les particules. Le système peut identifier les particules noyées dans les substrats et peut également analyser les défauts matériels tels que les vides et les trous de pincement. L'unité peut également être utilisée pour mesurer la topographie de surface de la plaquette pour fournir des informations détaillées sur la forme et la position des particules. Dans l'ensemble, KLA ALPHASTEP 500 est une machine de test et de métrologie de plaquettes très précise et précise qui fournit une caractérisation complète des films minces et des substrats. L'outil fournit un aperçu détaillé des caractéristiques des couches minces et peut être utilisé pour surveiller le développement des couches, mesurer les taux de dépôt et inspecter les produits finis. L'actif a également la capacité d'identifier et de mesurer des particules de taille aussi petite que 0,7 micron et peut fournir une analyse approfondie des défauts de matériaux et de la topographie de surface.
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