Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9084578 à vendre en France
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ID: 9084578
Style Vintage: 2000
Surface profiler
P/N: 250287 "B"
OS Version: MS-DOS 6.22
Software version: Ver. 1.7.9.1
2000 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour mesurer l'épaisseur, la composition, le profil géométrique et les propriétés électriques de divers matériaux, y compris les composants semi-conducteurs, optoélectriques et micromécaniques. Ce système combine des techniques d'interférométrie optique, de spectroscopie infrarouge et de tension de capacité pour recueillir des données sur un large éventail de substrats. Grâce à sa technique de focalisation optique très précise et tridimensionnelle, KLA Alpha Step 500 mesure l'épaisseur de presque n'importe quel matériau jusqu'à une fraction d'un nanomètre en précision. Cela lui permet de mesurer simultanément la composition et la répartition de la composition du matériau de la plaquette ainsi que de tester ses propriétés électriques, telles que les caractéristiques de résistance et de fuite de courant. Cela permet à l'unité de détecter les mauvais lots et de mesurer les variations de rugosité des plaquettes. TENCOR ALPHASTEP 500 utilise des spectromètres infrarouges haute performance et des systèmes d'acquisition de données capacités-tension pour caractériser les plaquettes semi-conductrices et optoélectroniques. Cette machine permet d'identifier différents systèmes de matériaux semi-conducteurs composés, tels que le germanium de silicium, le nitrure de gallium et le nitrure de carbone de silicium, et de mesurer leurs distributions de composition de surface de substrat avec une résolution sous-monocouche. De plus, KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 est capable de positionner en temps réel le champ optique de vue, permettant une mesure précise de la composition et de l'épaisseur de la couche. KLA ALPHASTEP 500 nécessite un environnement de salle blanche afin d'effectuer correctement toutes les mesures. Cet outil dispose également d'une plate-forme d'automatisation fiable avec un bras robotique équipé de sondes différentes. Ceci assure une mesure répétable des propriétés du substrat et permet une analyse à haut débit. Alpha Step 500 est idéal pour la recherche et le développement de matériaux, ainsi que pour le contrôle des processus et de la qualité dans les lignes de fabrication de semi-conducteurs et optoélectroniques. Cet atout est également un outil avancé de caractérisation et d'analyse de composants microélectroniques de plus en plus réduits et de grande complexité.
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