Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9230371 à vendre en France
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KLA/TENCOR Alpha Step 500 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise des techniques avancées d'interférométrie optique et de mesure pour mesurer l'épaisseur, la courbure, les propriétés optiques et d'autres détails de matériaux sur plusieurs plaquettes de 200mm et 300mm de diamètre. KLA Alpha Step 500 dispose d'une plate-forme de réglage à 3 axes conçue spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs, lui permettant d'accueillir différentes tailles de plaquettes et échantillons dans diverses configurations de mesure. Cette plate-forme peut supporter jusqu'à un maximum de 6 plaquettes pour la mesure simultanée, et elle est également capable de scanner plusieurs plaquettes à la fois. L'unité d'alignement laser à la base du système permet un alignement précis des plaquettes sur l'unité, tandis que sa plate-forme mobile et son automate robot fournissent des capacités de déplacement de précision et de manipulation des échantillons. La composante de mesure centrale de la machine est un interféromètre intégré, qui permet la mesure précise à haute résolution (< 1nm) des échantillons avec une grande précision. La conception de l'interféromètre combine une mécanique de positionnement ultra-précise avec une technologie de fréquence de résonance pour une stabilité et une précision inégalées. Cet interféromètre permet des mesures de la plus haute résolution et permet également des mesures sans aberration sur des surfaces courbes et inégales. Il prend également en charge une suite de fonctions telles que des diagnostics avancés au niveau des outils et des utilitaires de maintenance. Le logiciel intégré de TENCOR ALPHASTEP 500 permet à l'utilisateur de passer facilement du mode de mesure de base de l'actif au mode programmable, offrant une large gamme de tests automatisés de fiabilité de processus et de pointe. Ce logiciel comprend également des fonctionnalités telles que l'analyse de données, l'analyse et le suivi des tendances. En plus du logiciel intégré, ce modèle est également compatible avec une variété de logiciels différents qui peuvent être adaptés aux besoins spécifiques des utilisateurs. KLA/TENCOR ALPHASTEP 500 est un outil idéal pour l'inspection et la caractérisation précises des plaquettes. Sa combinaison de performances haut de gamme, de logiciels intégrés et d'évolutivité en font un atout puissant pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.
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