Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 500 #9300224 à vendre en France
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ID: 9300224
Style Vintage: 2001
Surface profiler
Stylus-based surface profiler adjustable between 1 and 100 mg
Computer controlled scanning and data collection
VGA Monitor zoom optics
Multi-scan average mode scans up to 10 times
Surface parameters selections: Up to 30
Surface characteristic measurement:
With resolution to 1A
2D Metrology profiling: 10Å (1s)
Repeatability enables process control: 0.1%
With step height metrology
Below 50 nm to 300 µm
2001 vintage.
KLA/TENCOR Alpha Step 500 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour des mesures fiables et précises. Il utilise des logiciels et du matériel puissants pour effectuer des mesures de haute résolution des caractéristiques physiques des plaquettes semi-conductrices. Le système peut être utilisé pour des essais destructifs et non destructifs de couches minces sur des plaquettes semi-conductrices. Pour les essais non destructifs, KLA Alpha Step 500 utilise l'imagerie dérivée confocale (CDI) qui produit des images tridimensionnelles de la surface de la plaquette. Les images CDI permettent de mesurer et de comprendre avec précision les topographies de surface en dessous de 1nm. Pour les essais destructifs, une microscopie à force piézoélectrique (PFM) est utilisée pour l'image des structures des plaquettes et pour le test de la contrainte des couches minces. PFM utilise une sonde bascule nano-échelle pour interagir avec les surfaces d'échantillons et créer des images de couches individuelles sous la surface supérieure de la plaquette. Des mesures de contraintes sont nécessaires pour assurer l'intégrité structurelle des circuits vitaux et des composants électroniques. TENCOR ALPHASTEP 500 utilise deux techniques différentes de microscopie par sonde à balayage (SPM) pour mesurer le stress des couches minces. Les deux techniques mesurent la variation des dimensions d'un échantillon lorsqu'une pointe est enfoncée dans la surface. A partir de ces mesures, les caractéristiques de contrainte de l'échantillon peuvent être déterminées. ALPHASTEP 500 est également idéal pour répondre à la norme mondiale de l'industrie pour l'analyse et la revue post-métrologie. L'unité accomplit une variété de tâches, y compris l'isolement et l'identification des caractéristiques du produit, l'analyse et la déclaration simultanées des résultats de multiples essais, et l'exécution automatisée de l'inspection et de l'analyse des surfaces des plaquettes. Enfin, KLA ALPHASTEP 500 offre des performances, une précision et une fiabilité de pointe dans l'industrie. Il dispose d'une machine de capture d'image haute résolution, d'un logiciel intuitif facile à utiliser et de capacités de balayage automatisé pour assurer des mesures précises et fiables sur de longues périodes.
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