Occasion KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293593018 à vendre en France

KLA/TENCOR Alpha Step IQ est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit une mesure automatisée à haut débit des propriétés électriques sur les surfaces de plaquettes. La suite matérielle et logicielle intégrée du système permet aux utilisateurs de réduire les temps d'optimisation des processus tout en améliorant la qualité des plaquettes. La composante matérielle de la plate-forme KLA Alpha Step IQ comprend un étage de métrologie, un module d'imagerie, un mandrin électrostatique et diverses sources d'éclairage. L'étage est équipé d'une unité de commande de mouvement de haute précision pour un balayage précis de la surface de l'échantillon. Le composant d'imagerie intégré est un microscope optique de haute précision avec réglage automatique de la focale et contrôle de la longueur d'onde. Le mandrin électrostatique fournit un environnement électrique précis et uniforme pour le test des plaquettes. Et les sources d'éclairage sont conçues pour détecter sélectivement des propriétés électriques ou des caractéristiques topographiques sur la surface de la plaquette. Les étapes de mesure/test/inspection de la suite d'outils de mesure de TENCOR ALPHASTEP IQ facilitent l'identification rapide des excursions de processus et permettent aux utilisateurs de résoudre les problèmes de processus. Il supporte une large gamme de techniques de métrologie 2D et 3D, y compris l'imagerie électrique, l'imagerie à charge résiduelle (ICR), l'imagerie par réflectance spectroscopique (ISR) et la microscopie à force atomique (AFM). Pour les applications de métrologie électrique, sa suite d'outils permet de mesurer la longueur et la largeur de grille des transistors à haute résolution, de mesurer la résistance des feuilles de contact (CSR) et de cartographier la résistance des feuilles (SRM), ainsi que de mesurer la tension de courant (IV) et la tension de capacité (CV). La suite logicielle est conçue pour automatiser et rationaliser les processus de fabrication des plaquettes. Il contient une suite d'algorithmes et de routines logicielles qui facilitent l'exécution de routines de métrologie, telles que l'acquisition de données, l'analyse et la génération de rapports. En outre, le logiciel dispose d'un ensemble d'algorithmes avancés pour la reconnaissance et l'analyse des motifs. Cela permet à la machine de détecter rapidement les aberrations de processus, même lorsque les échantillons varient en taille, en forme ou en propriétés électriques. De plus, la plate-forme Alpha Step IQ offre des options de connectivité incluant une connexion Ethernet, un port analogique pour la sortie tension ou courant, et une sortie impulsionnelle pour les images, donnant aux utilisateurs la flexibilité d'intégrer l'outil avec n'importe quelle plate-forme d'automatisation ou de robotique. Pour étendre davantage les capacités de l'actif, les utilisateurs peuvent ajouter des modules optionnels tels qu'un seul spectrophotomètre de wafer. Globalement, KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ est un modèle avancé de test et de métrologie de plaquettes qui offre un débit, une précision et une fiabilité élevées. Ses composants matériels et logiciels complets permettent aux installations de fabrication de plaquettes de réduire les temps d'optimisation des processus et d'optimiser les performances des processus.