Occasion KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293671815 à vendre en France

KLA/TENCOR Alpha Step IQ est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour des inspections optiques tridimensionnelles. Il est composé d'un module de mesure de hauteur de pas de haute précision, d'un microscope optique plein champ à grande vitesse et d'un module de reconnaissance de motifs avec des algorithmes d'analyse avancés pour la détection des défauts, la classification des défauts et la surveillance des processus. Le système est conçu pour inspecter les défauts topographiques et optiquement critiques sur les plaquettes et les substrats semi-conducteurs. Le microscope optique plein champ comprend une caméra stéréo haute résolution et haute sensibilité, une unité de détection CCD à faible bruit et une machine de positionnement automatique de haute précision. Cet outil combiné capture avec précision la topographie et les images défectueuses de la surface de la plaquette. Il peut également détecter et analyser des sondes et des nanoprobes à haute résolution pour des mesures métrologiques supplémentaires. Le module de mesure de hauteur de pas de haute précision mesure les topographies de surface minces du rasoir avec une précision et une précision extrêmes. Ce module Inch peut détecter de minuscules bosses et artefacts d'usinage sur la surface de la plaquette, assurant un haut niveau de contrôle du processus/produit. En outre, cet atout est capable de mesurer la hauteur et les dimensions latérales des caractéristiques de matériau qui sont critiques pour les processus de fabrication de dispositifs microélectroniques. Le module de reconnaissance de motifs utilise des algorithmes avancés pour la détection et la classification des défauts. En outre, ce module peut également automatiser des mesures de paramètres de processus critiques pour la surveillance et la caractérisation des processus. Ce modèle peut détecter et classer les défauts physiques tels que les particules, les rayures et les micro-shorts. De plus, le module de reconnaissance de motifs est capable d'analyser les signatures optiques uniques des défauts tels que les défauts cristallins, les délaminations, l'oxydation et les résidus de soulèvement. KLA Alpha Step IQ est capable de mesurer les propriétés topographiques des wafers plats ainsi que les motifs topographiques complexes avec une large gamme de profils topographiques tels que l'arc de wafer et l'inclinaison de wafer. De plus, l'équipement est capable d'effectuer des mesures de métrologie sans contact telles que la taille des caractéristiques, le rapport d'aspect et la topographie. Il est également capable de mesurer les caractéristiques optiques des plaquettes telles que la réflectivité, la transmittance et l'indice de réfraction. Dans l'ensemble, TENCOR ALPHASTEP IQ est un système avancé d'essai et de métrologie de plaquettes qui offre une précision et des performances améliorées par rapport aux autres systèmes de sa catégorie. Sa précision, sa précision et ses capacités de détection des défauts en font un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs.