Occasion KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293673412 à vendre en France
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Vendu
KLA/TENCOR Alpha Step IQ est un outil automatisé de test et de métrologie pour mesurer l'épaisseur des minces et d'autres propriétés des plaquettes semi-conductrices. L'équipement utilise un interféromètre avancé avec une résolution milli-angle et un diaphragme à trou d'épingle pour un profilage rapide des surfaces. KLA Alpha Step IQ est conçu pour mesurer des échantillons sans préparation d'échantillon. Il peut facilement mesurer les variations die-to-die, les contaminants, la rugosité, le grain de film, l'épaisseur du film et d'autres tensioactifs. Le système utilise la lumière infrarouge d'une source laser He-Ne pour générer des motifs d'interférence visible, qui sont capturés avec un capteur de caméra à couplage de charge (CCD). L'analyse des motifs d'interférence permet de mesurer avec précision les caractéristiques de la plaquette. Les algorithmes sophistiqués utilisés par TENCOR ALPHASTEP IQ utilisent 1-D et 2-D Fast Fourier Transform pour analyser les motifs de franges d'interférence et extraire les données interfaciales de la surface de la plaquette. Ces données sont traduites en cartes d'épaisseur des surfaces des plaquettes, qui servent à déterminer l'épaisseur des couches supérieure et inférieure. ALPHASTEP IQ offre plusieurs configurations matérielles pour permettre des applications critiques de métrologie, telles que la mesure de piles de couches minces, de plaquettes porteuses et de composants MEMS. Des configurations spécialisées permettent même à l'unité de mesurer des structures et des dispositifs tridimensionnels en trois axes. KLA/TENCOR ALPHASTEP IQ est également capable de fournir des mesures de balayage rapide des surfaces aux profils sub-microns. TENCOR Alpha Step IQ est un ajout précieux au portefeuille KLA, en raison de ses capacités de métrologie supérieures. Ses performances entièrement automatisées éliminent la nécessité de mesures manuelles, réduisant ainsi les erreurs et améliorant l'efficacité de la mesure des plaquettes semi-conductrices. La machine offre également un débit plus élevé et un temps de cycle réduit par rapport aux appareils de mesure manuels. De plus, KLA ALPHASTEP IQ offre une compatibilité complète avec la suite intégrée d'outils logiciels TENCOR, permettant une analyse optimisée des données, l'analyse automatisée et le reporting.
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