Occasion KLA / TENCOR Alpha Step IQ #293682500 à vendre en France

KLA/TENCOR Alpha Step IQ est un équipement d'essai et de métrologie de pointe capable de mesurer les caractéristiques de surface des plaquettes avec une précision et une répétabilité inégalées. KLA Alpha Step IQ s'appuie sur une technologie brevetée de pointe pour transporter la plaquette à travers un lit de balayage, qui utilise ensuite ses lasers pour examiner et cartographier les caractéristiques de surface jusqu'au niveau du nanomètre. Des photodiodes sont utilisées pour mesurer la réflexion à partir de chaque point de mesure pour déterminer la topographie de la surface de la plaquette. Cette mesure de photodiode est utilisée pour construire une carte « contour » tridimensionnelle de la surface de la plaquette. Cette carte de contour représente la forme et la topographie de surface de la plaquette de manière complète et très détaillée. Ce système est capable de mesurer une variété de caractéristiques de surface de la plaquette, y compris la hauteur du pas, le profil, le rayon de courbure, la pente et la planéité. La précision de ces mesures est remarquable, avec une répétabilité typiquement meilleure que 0,5 nm dans la plupart des applications. Grâce à l'électronique et à l'optique de pointe, l'unité IQ de TENCOR ALPHASTEP permet un balayage extrêmement rapide - ne prenant généralement que quelques secondes pour effectuer une mesure sur une plaquette entière de 200mm - permettant un retour d'information rapide sur le débit et le processus. La machine fournit également une analyse intégrée puissante, permettant une analyse statistique sophistiquée des résultats de processus sur différentes tailles de lot de plaquettes avec facilité. De plus, des outils d'analyse hors ligne sont également disponibles pour optimiser davantage les processus. Enfin, Alpha Step IQ comprend une large gamme d'accessoires, y compris des fixations spécialisées et des bras de sonde, permettant une flexibilité dans les techniques de mesure et la compatibilité avec la majorité des équipements d'essai et de métrologie des plaquettes disponibles aujourd'hui. Dans l'ensemble, ALPHASTEP IQ est un outil polyvalent et performant de test et de métrologie de plaquettes capable de fournir des mesures très précises et des capacités d'optimisation de processus inégalées.