Occasion KLA / TENCOR Alpha Step IQ #9229842 à vendre en France
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KLA/TENCOR Alpha Step IQ est un équipement d'essai et de métrologie avancé conçu pour le contrôle avancé des processus de nanolithographie des semi-conducteurs. Il dispose d'un certain nombre de caractéristiques puissantes qui garantissent que les niveaux de qualité requis pour le processus moderne de fabrication des semi-conducteurs sont respectés. KLA Alpha Step IQ est un système basé sur l'imagerie, permettant aux utilisateurs de créer des images d'une surface complète de wafer avec une résolution nanométrique. Il utilise une optique haute NA (ouverture numérique), facilitée par des accessoires spécialisés de livraison de faisceau et d'imagerie, pour inspecter les surfaces supérieure et inférieure de la plaquette. L'unité peut détecter une grande variété de caractéristiques, des caractéristiques submicroniques aux plus grandes tranchées et autres structures. La tête de balayage est déplacée par un étage moteur asservi X-Y, qui fournit à l'utilisateur une capacité impressionnante de mesurer et d'analyser les caractéristiques sur une variété de géométries de plaquettes. La machine est capable de mesurer un grand nombre de mesures clés liées à la surface de la plaquette, y compris le rapport d'aspect, la dimension critique, la rugosité de la largeur de ligne, les angles de flanc, et plus. Ces points de données peuvent alors être visualisés graphiquement via l'interface utilisateur, ou être utilisés pour créer une carte 3D de la surface de la plaquette. Des analyses avancées sont également disponibles, qui permettent de détecter des variations de hauteurs, d'angles et d'autres caractéristiques de sous-microns. Un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires font de TENCOR ALPHASTEP IQ un outil de test et de métrologie vraiment puissant. Les capacités d'imagerie peuvent être améliorées avec des options post-processus, y compris l'analyse cartographique et l'auto-focus. De plus, les données d'image peuvent être saisies et stockées pour une post-analyse. L'actif comprend également des fonctions d'alignement automatisé des plaquettes pour une meilleure précision. Dans l'ensemble, KLA ALPHASTEP IQ est un modèle de test et de métrologie des plaquettes très avancé qui est idéal pour le contrôle des processus et la nanolithographie des semi-conducteurs. Il offre une combinaison puissante de caractéristiques d'imagerie et d'analyse, ce qui le rend capable de détecter un large éventail de caractéristiques sur une variété de géométries de plaquettes. En outre, ses capacités d'alignement automatisé et les options de post-traitement ajoutent une couche supplémentaire de précision et d'exactitude de l'analyse.
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