Occasion KLA / TENCOR Alpha Step #293737717 à vendre en France

KLA/TENCOR Alpha Step est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour analyser et mesurer la qualité des plaquettes semi-conductrices. Les systèmes d'essai et de métrologie des plaquettes sont utilisés pour inspecter et surveiller les surfaces des plaquettes semi-conductrices avant et après leur traitement. KLA Alpha Step système dispose d'une variété d'outils de métrologie conçus pour des utilisations spécifiques pour capturer des données liées à la qualité des plaquettes. Les composants de base de l'unité ALPHASTEP de TENCOR comprennent un microscope puissant capable d'agrandir jusqu'à 55 000 x, un microscope à balayage focalisé (FSM), un scanner de microscopie à force atomique (AFM), ainsi que des microscopes à gravure plasma, optiques et électroniques de scan. Cette machine dispose d'une puissante base de données intégrée pour la saisie et le stockage des données des plaquettes, ainsi que d'un logiciel de contrôle des outils. Le FSM est le cœur de l'actif KLA/TENCOR ALPHASTEP, car il facilite l'imagerie et l'analyse des wafers au niveau microscopique. Ce puissant microscope utilise plusieurs sondes, y compris des sondes de gravure à force atomique, optique et plasma, pour visualiser la surface de la plaquette afin d'identifier les défauts. Le FSM calcule également la position et la forme des caractéristiques microscopiques de la plaquette afin d'analyser les caractéristiques de défaut. De plus, un programme d'analyse automatisé est disponible qui signale automatiquement tout défaut ou anomalie potentiel. La composante AFM du modèle fournit des informations complètes sur la surface de la plaquette, y compris des mesures de rugosité de surface en trois dimensions. Cela permet d'analyser la topographie de surface, qui peut être utilisée pour identifier les défauts, les problèmes de planarisation et les problèmes de rendement potentiels. En plus des différentes sondes et microscopes, l'équipement KLA ALPHASTEP dispose d'un système d'imagerie qui est conçu pour surveiller et capturer les images de chaque étape du processus de fabrication afin d'assurer la cohérence et la qualité des plaquettes. Cette unité se connecte à une base de données interne et fournit des informations en temps réel sur les étapes du processus, les opérations des plaquettes et l'analyse des rendements. KLA a également conçu un logiciel personnalisé pour la machine TENCOR Alpha Step, qui permet aux utilisateurs de contrôler l'outil facilement et rapidement. Ce logiciel puissant comprend des modules pour la cartographie, la détection des arêtes, la reconnaissance des motifs, le reporting, les graphiques et l'analyse des dimensions critiques optiques (OCD). Tous ces modules fournissent des informations précieuses qui peuvent être utilisées pour évaluer la stabilité du processus et assurer le contrôle de la qualité. Dans l'ensemble, Alpha Step wafer testing and metrology asset est un outil puissant et complet pour le contrôle de la qualité des wafers semi-conducteurs. Doté de capteurs multiples, d'un logiciel puissant et de vastes capacités de gestion des données, ce modèle est conçu pour répondre à toutes les exigences du fabricant en matière de contrôle de la qualité.