Occasion KLA / TENCOR ASET F5 #293827457 à vendre en France

KLA / TENCOR ASET F5
ID: 293827457
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR ASET F5 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour l'utilisation en ligne de production de semi-conducteurs. Il peut mesurer, inspecter et analyser rapidement et avec précision les propriétés des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre. Le système offre une série de technologies, de processus et de logiciels pour améliorer l'exactitude et la flexibilité potentielles des essais et des opérations de métrologie. Du niveau du substrat à l'inspection et à la caractérisation des appareils individuels, KLA ASET-F5 offre des performances inégalées en termes de débit et de précision. Ses capacités d'inspection et de métrologie des plaquettes comprennent : les capacités optiques et CD-SEM haute NA, OBIRCH (changement de résistance induit par le faisceau optique) pour la technologie de reconnaissance des motifs et la métrologie de la couche diélectrique basse. TENCOR ASET F 5 utilise la technologie brevetée KLA X-scan pour capturer les images de l'échantillon de plaquette, donnant une répétabilité supérieure même dans les conditions environnementales les plus difficiles. L'unité dispose également d'un paquet optique haut de gamme et des derniers logiciels, fournissant une imagerie précise et des reconstructions 3D précises. En outre, la machine dispose d'une automatisation précise pour assurer une manipulation fiable des plaquettes et d'une enceinte à injection de gaz propre pour maintenir les conditions de salle blanche de classe ISO 4. L'outil dispose également d'un outil de positionnement d'échantillons à double étage pour l'alignement précis et le montage d'échantillons pour l'inspection de masque et de plaquettes nues. Le modèle de métrologie des plaquettes est également équipé d'une station de préparation d'échantillons personnalisable. Cela comprend une variété d'outils de préparation d'échantillons tels que le nettoyage, les élévateurs, les porte-échantillons et divers outils d'emballage de niveau Wafer et CMP. Cela permet à l'utilisateur de choisir l'outil de préparation le plus approprié pour une application spécifique. Enfin, l'équipement comprend une puissante suite d'outils d'analyse de données. Cela permet le traitement, la visualisation et l'analyse de toutes les images et données générées par les outils d'inspection et de métrologie des plaquettes. Les outils logiciels fournissent également un aperçu exploitable de la qualité des wafer et de la performance des processus, ainsi qu'une plate-forme pour des mesures correctives globales. KLA/TENCOR ASET-F5 est un système très avancé qui offre des performances, une précision et une flexibilité inégalées aux lignes de production de semi-conducteurs. Avec sa gamme complète de fonctionnalités et de fonctions, l'unité est un outil inestimable pour le test de plaquettes et la métrologie.
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