Occasion KLA / TENCOR ASET F5x #9232878 à vendre en France
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ID: 9232878
Taille de la plaquette: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Dual cassette open handler
Wafer handling, 6"
Wafer handling with handler charge, 12"
Spectroscopic ellipsometer
Pattern recognition
Operating system: Windows XP
Computer: Pentium 1.25 GHz
SCSI Hard drive: 80 GB
DRAM: 1 GB
Flat panel LCD display
Keyboard & trackball
Multi layer film capacity
Micro spot optics
Scanning stage
Wafer mapping
In-situ capability
Controller type: PC / VME
Operator manual
DBS Spot sizes: 2.7, 10, 40 um
XENON Light source
Wavelength range: 220 nm to 800 nm.
KLA/TENCOR ASET F5x est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour le contrôle avancé des processus dans un large éventail d'industries, y compris les industries des semi-conducteurs, de la mémoire, du stockage de données, de l'optoélectronique, de l'affichage et des photomasques. Le système offre une grande précision et répétabilité pour les essais de plaquettes et la métrologie, permettant l'inspection et l'analyse automatisées des défauts. L'unité F5x intègre des solutions de métrologie et d'essai à 360 ° sans contact, basées sur la vision, y compris : foyer optique/défocus, rugosité de surface, réflectance spectrale, CD/largeur, recouvrement, défaut de masque opaque, hauteur du pas gravé et analyse des matériaux. L'optique numérique avancée, l'optique de précision, les cartes de mouvement, les combineurs de faisceaux, la technologie de reconnaissance de motifs et les techniques d'analyse d'images sont utilisés pour faciliter une analyse précise des plaquettes d'échantillons. En outre, la machine est équipée de la dernière technologie SPCS (Semiconductor Production Control Tool) et des rayons X, offrant une mesure et un contrôle en temps réel précis, ainsi qu'un mécanisme entièrement automatisé de reconnaissance des motifs et de correction des erreurs. Cela permet de maximiser la détection des défauts et de minimiser les fausses alarmes. KLA ASET-F5X est adapté aux essais et à la métrologie des plaquettes à haut volume, avec une grande vitesse, une répétabilité et un faible coût de possession. Son interface utilisateur intuitive peut être adaptée aux besoins opérationnels et prend en charge une variété de langues, dont l'anglais, le japonais, le coréen, le chinois et l'allemand. Les meilleures performances et la robustesse de l'actif ont été prouvées pour soutenir une variété d'applications de métrologie et les besoins de contrôle de la qualité. Cela aide les clients à maintenir les niveaux les plus élevés de contrôle des processus, assurer la qualité des produits et fournir un environnement de production stable.
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