Occasion KLA / TENCOR ASET F5x #9240202 à vendre en France
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ID: 9240202
Taille de la plaquette: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Open cassette, 8"
Spectroscopic ellipsometer
Dual-beam spectrometer (DBS)
Xenon light source: Wavelength range 220 nm to 800 nm
DBS Spot sizes: 2.7 um, 10 um, 40 um
Pattern recognition (PatMax)
2.8-GHz Pentium-IV Star bright computer
Hard drive: 80-Gb IDE
DDR RAM: 512-Mb
Ethernet PCIA card: 10 Base-T and 10 Base-100 communications protocol
Operating system: Windows XP
Flat-panel display: 17-inch color LCD
Keyboard and trackball
DVD / RW Drive and Floppy disk drive, 3.5"
DVDR / RW Blank diskette
Start-up kit
Modular wafer handler
With dual open cassette back of cabinet
Standard SE
Pattern recognition patmax
Platen single finger, 200 / 300
P4 Computer, 2.8 GHz
PCA, Matrox orion, Frame Grab, PCI
220 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR ASET F5x est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de haute performance spécialement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une variété de caractéristiques pour fournir la mesure, le traitement et la caractérisation précis et fiable des plaquettes. Le système se compose d'une station de wafer modulaire, waferhandler, processeur de bureau, et d'affichage. La station de wafer de KLA ASET-F5X est une unité de manutention automatisée de wafer avec une forte adhérence aux recettes de processus. Il est conçu pour traiter plusieurs tailles de plaquettes, de sorte qu'il peut facilement être adapté pour une variété de procédures de production. La machine est également accessible à distance, ce qui la rend idéale pour la télécommande. La fonction unique waferhandler permet le chargement et le déchargement rapides des wafers. Cela permet à l'outil de travailler rapidement, maximisant le débit et la précision. Cette fonctionnalité permet également à l'utilisateur de choisir parmi une large gamme d'options de manutention automatisée ou manuelle des plaquettes. En outre, l'actif est capable de recueillir des données à partir des surfaces de plaquettes jusqu'à 6mm d'épaisseur. Le processeur de bureau fournit à l'utilisateur une interface intuitive et une puissance de traitement pour analyser les données collectées. Ce processeur comprend une interface utilisateur graphique (interface graphique) à bord pour fournir un environnement convivial et facile à utiliser pour la gestion des données. L'architecture modulaire intégrée pour la capacité d'acquisition et d'analyse de données utilise des techniques de traitement de signal haut de gamme pour obtenir une analyse de wafer de haute précision. L'affichage de TENCOR ASET F 5 X offre à l'utilisateur un large champ de vision. Cela permet à l'utilisateur de surveiller rapidement le processus de test et de métrologie des plaquettes en affichant une vue en direct des mesures du processus. L'écran est également doté d'un écran tactile en option, permettant plus de contrôle et de flexibilité lors de l'interface avec les menus et les réglages du modèle. TENCOR ASET F5x est un équipement complet d'essai de plaquettes et de métrologie qui combine précision et performance avec facilité d'utilisation. Avec son architecture modulaire, sa facilité d'utilisation et son large éventail de capacités de manutention des plaquettes, ASET F5x est un excellent choix pour les procédés de production de semi-conducteurs.
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