Occasion KLA / TENCOR ASET F5x #9240546 à vendre en France
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Vendu
ID: 9240546
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2003
Film thickness measurement system, 8"-12"
8" Conversion: Insert type
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse & keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save & classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness & RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D & 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE & DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion (Save everything, Hard Disk Drive (HDD))
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Project
Signal tower
Wafer breakage: ≤ 1/100,000 Cycles
S3 Handler
Options:
GEM SEMI E30-98
SECS II SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
2003 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x est un équipement de métrologie multi-capteurs utilisé pour les essais de plaquettes et la métrologie. Il est conçu pour fournir des mesures fiables et précises des différentes couches d'un échantillon de plaquette comprenant du silicium, des couches métalliques et des couches organiques. Sa technologie de détection multicomposante est utilisée pour mesurer les propriétés électriques et la structure physique de l'échantillon d'essai. Le système se compose d'une plate-forme multi-axes, d'un étage haute résolution et d'une unité d'imagerie de haute qualité. La plate-forme multi-axes a la capacité de déplacer la plaquette d'échantillon à des vitesses élevées avec une grande précision, permettant à la machine d'essai de recueillir une grande variété de données rapidement. L'étage haute résolution est très précis, ce qui permet à l'outil de mesurer les propriétés de la plaquette jusqu'au niveau du nanomètre. L'actif d'imagerie utilise des techniques optiques pour détecter les caractéristiques de l'échantillon d'essai, donnant aux testeurs de plaquettes un aperçu de la structure de l'échantillon. KLA ASET-F5X est conçu avec le plus haut niveau de fonctionnalité à l'esprit. Il est facile à utiliser, avec une interface web conviviale et des processus de test automatisés et manuels. Le modèle peut fournir des mesures de haute précision en quelques minutes grâce à ses algorithmes puissants et à son instrumentation précise. Il est également équipé de rétroaction en temps réel, permettant aux ingénieurs de surveiller les données en temps réel et d'effectuer des ajustements en temps réel au processus de test. TENCOR ASET F 5 X utilise des techniques de microscopie avancées, telles que la microscopie électronique, ainsi que l'imagerie optique classique pour construire une image de l'échantillon d'essai. Les techniques de microscopie fournissent des informations détaillées sur les propriétés de l'échantillon, tandis que l'imagerie optique permet aux testeurs de mesurer les propriétés de l'échantillon de manière non invasive. Cela permet un moyen efficace de recueillir des lectures précises sur un large éventail de paramètres à l'intérieur de la plaquette d'essai. L'équipement est conçu pour être très robuste et fiable, permettant un haut débit de tests et des résultats précis. Le système est également conçu pour des performances élevées, permettant des mesures à haute résolution et une précision améliorée. Cette unité est une solution idéale pour les essais de semi-conducteurs et d'électronique, fournissant des données rapides, fiables et précises pour une variété d'applications de plaquettes.
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