Occasion KLA / TENCOR ASET F5x #9254566 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9254566
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Film thickness measurement system, 8"
Cassette interface:
Open handler with (2) open cassette stations
PRI / EQUIPE Wafer handling robot with dual end actuator
BROOKS PRE-300B-CE Pre aligner
Main tool:
Spectroscopic Ellipsometer (SE)
Xe Xenon light source
D2 Lamp
Controller type: PC
Computer
Floppy drive: 3.5" (1.44 MB)
Castle wood drive: 2.2 GB
Color VGA monitor
Keyboard / Trackball
Facility requirements:
CDA
Vacuum
Power supply: 208 VAC, 8.5 A, Single phase, 3-Wire, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour les applications de métrologie et d'examen des défauts. Il augmente les performances critiques de détection des défauts avec le système de détection le plus récent et le plus avancé. L'unité est conçue pour répondre aux besoins critiques et complexes de détection complète des défauts et d'amélioration du rendement. Il a également été conçu pour fournir une plus large gamme de wafer automatiques test, métrologie, et des capacités d'examen des défauts. La machine est équipée d'une technologie de balayage séquentiel et s'intègre parfaitement aux outils d'inspection et de réglage des défauts. La technologie intégrée contribue à améliorer les performances des processus et à réduire le temps de traitement. Il dispose d'un capteur optique actif intégré (AOS) pour capturer les caractéristiques de défaut les plus difficiles, avec une résolution significativement plus élevée et une vitesse de débit plus élevée que les alternatives. KLA ASET-F5X a été conçu pour améliorer les fonctionnalités logicielles des systèmes d'imagerie KLA/TECON existants et prévus. Il s'intègre également de façon transparente à l'équipement existant, fournissant un analyseur automatique de paquets, une mesure de la contrainte des paquets, une imagerie photo-faciale, un reconditionnement et une large gamme d'opérations de créneaux avancées. Il est livré avec un outil d'inspection optique automatisé pour les plaquettes et l'inspection photorésist. Il est conçu pour se connecter à une large gamme d'optiques et de sous-systèmes, permettant aux utilisateurs de configurer, personnaliser et automatiser leurs processus actuels et futurs d'essais et de métrologie. L'actif prend également en charge plusieurs outils logiciels, y compris la surveillance des processus en temps réel TENCOR, KLA/TENCOR Auto Focus, la détection des défauts basée sur le flux KLA, et beaucoup d'autres. Le modèle TENCOR ASET F 5 X offre une solution complète pour les tests, la métrologie et la révision des défauts. Doté d'une technologie de détection avancée et de vitesses de débit élevées, l'équipement est conçu pour des applications de métrologie haut de gamme et de révision des défauts. Il offre une large gamme de capacités automatisées de test de plaquettes, de métrologie et d'examen des défauts. Le système est conçu pour fonctionner avec toutes les générations actuelles et futures de systèmes d'imagerie, d'inspection et de métrologie. Il est conçu pour augmenter les performances de détection des défauts critiques et réduire le temps de mise.
Il n'y a pas encore de critiques