Occasion KLA / TENCOR ASET F5x #9263174 à vendre en France

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KLA / TENCOR ASET F5x
Vendu
ID: 9263174
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Film thickness measurement system, 12" 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x est un équipement avancé d'essai et de métrologie de plaquettes qui utilise des technologies optiques et acoustiques de nouvelle génération pour des essais et des inspections complets, rapides, fiables et rentables des plaquettes à semi-conducteurs. Ce système offre une large gamme de capacités automatisées d'inspection et de métrologie des défauts, en plus de la prise en charge de plusieurs géométries de plaquettes et des réglages de processus pour la détection et la mesure rapides des défauts sur la plaquette. KLA ASET-F5X utilise des technologies optiques et acoustiques de pointe telles que la diffusion laser, la scatterométrie et l'imagerie par contraste optique (OCI) pour fournir des résultats à haute résolution et reproductibles pour des applications critiques telles que la rugosité des bords de ligne (LER), la largeur des lignes et les mesures de recouvrement. L'unité est équipée de plusieurs caméras pour acquérir des images haute résolution de la plaquette et de sa couche traitée dans les modes d'imagerie optique arrière et frontale, et inspection au microscope pour des images haute résolution de caractéristiques uniques et de défauts. La machine est également capable de détecter une grande variété de défauts et de caractéristiques liées au processus avec une vitesse et une précision exceptionnelles. Cela est réalisé grâce à des algorithmes sophistiqués qui peuvent identifier des particules, des glissements, des ruptures, des fosses, des hillocks, des coins, et plus encore. L'outil intègre également un classificateur automatisé des défauts basé sur l'apprentissage profond qui est capable d'identifier avec précision les anomalies de configuration et les défauts structurels, permettant une rétroaction fiable sur le contrôle des processus. En outre, TENCOR ASET F 5 X prend en charge une multitude d'applications de métrologie, telles que les mesures dimensionnelles traçables, l'imagerie de diffusion stochastique, la cartographie du balayage aréolaire à pleine puce et la métrologie des paramètres critiques du processus. L'atout est livré avec un tamponnage intégré des plaquettes et une manipulation robotique des plaquettes, ce qui lui permet de réaliser plusieurs opérations d'inspection et de métrologie à grande vitesse en parallèle. Cela garantit l'acquisition et l'évaluation de données exactes et en temps opportun. KLA/TENCOR ASET-F5X est un outil puissant et polyvalent pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Il offre une grande précision, vitesse et répétabilité dans un large éventail d'applications, tout en fournissant un accès fiable à la rétroaction de contrôle de processus pour un rendement optimisé. Le modèle est également soutenu par un soutien technique complet et l'ingénierie d'application pour aider les utilisateurs avec leurs besoins spécifiques.
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