Occasion KLA / TENCOR ASET F5x #9300883 à vendre en France

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ID: 9300883
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR ASET F5x est un équipement d'essai et de métrologie utilisé pour l'analyse et la mesure précises des caractéristiques des semi-conducteurs sur les plaquettes. Plus précisément, le système utilise une technologie avancée d'imagerie et de reconnaissance de motifs pour détecter, mesurer et évaluer les caractéristiques de petites dimensions sur les surfaces des plaquettes semi-conductrices afin d'assurer une production de haute qualité et précision. L'unité se compose d'un certain nombre de composants individuels, dont une station de microscopie optique, une station de mouvement d'échantillons, un laboratoire de métrologie complet et basé sur l'interférométrie, et une machine automatisée de développement et de vérification des méthodes. La station de microscopie optique de KLA ASET-F5X utilise des optiques adaptatives pour améliorer le contraste et la résolution des caractéristiques fabriquées et optimiser la qualité d'image capturée. À partir des images haute définition générées avec cette station, un outil informatique utilise une technologie avancée de reconnaissance de motifs pour identifier, mesurer et analyser les principales caractéristiques des petits semi-conducteurs. La station de mouvement de l'échantillon de l'actif fournit un contrôle de mouvement précis pour assurer un alignement correct des plaquettes, une grande efficacité et une répétabilité pour les essais à différents endroits. De plus, cette station permet également au modèle d'effectuer une mesure rapide de la surface sans contact. Le laboratoire complet de métrologie de l'image fournit une mesure dimensionnelle basée sur la précision des caractéristiques de ligne et de tangage sur la plaquette. Cela comprend la capacité de caractériser les caractéristiques des lignes locales, y compris le pontage, la largeur et la hauteur, ainsi que les caractéristiques des lignes globales telles que la hauteur des marches et l'uniformité de la largeur des lignes. L'équipement automatisé de développement et de vérification des méthodes permet d'assurer la précision et la répétabilité tout au long du processus d'essai. Cela se fait par l'intégration de l'optique avancée et de l'intelligence de calcul pour évaluer rapidement et réagir aux erreurs de fonctionnalités. En outre, TENCOR ASET F 5 X fournit également une variété de modules et de paquets optionnels pour améliorer encore ses capacités de métrologie pour des solutions personnalisées. Il s'agit notamment de modules pour l'imagerie à large champ, l'inspection à haute résolution, la mesure des dimensions critiques et l'inspection des défauts. En conclusion, KLA ASET F5x est un système complet d'essai et de métrologie des plaquettes qui utilise une technologie avancée d'imagerie et de reconnaissance des motifs pour détecter et mesurer les caractéristiques des petits semi-conducteurs sur les plaquettes afin d'assurer une production de haute qualité et précision. Avec une large gamme de modules et de paquets optionnels à choisir, l'unité est adaptable pour une utilisation dans diverses industries.
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