Occasion KLA / TENCOR ASET F5x #9361861 à vendre en France
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Vendu
ID: 9361861
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Film thickness measurement system, 12"
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy Disk Drive (FDD) / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness and RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D and 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Signal tower
Wafer breakage
Options:
GEM SEMI E30-98
SECSⅡ SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des données à haut débit et à haute fiabilité pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ce système permet aux utilisateurs d'évaluer rapidement les caractéristiques des plaquettes, y compris les propriétés diélectriques, la composition des matériaux et l'uniformité des matériaux avec une intervention manuelle minimale. Le modèle KLA ASET-F5X est conçu pour détecter et mesurer rapidement et avec précision le courant de fuite diélectrique, la résistance et la capacité des échantillons sur diverses structures d'essai dans le cadre de la métrologie en ligne ou des essais électriques. Cette unité offre des mesures rapides et fiables avec des taux de rejet de plus de 99,99 %. Un processeur embarqué puissant gère les données de mesure et les utilisateurs peuvent stocker plusieurs fixations et procédures de test dans une bibliothèque prédéfinie. Le dispositif est construit avec une conception compacte de référence, ce qui le rend idéal pour l'intégration dans les chaînes de fabrication de semi-conducteurs existantes. La machine dispose d'un outil d'alignement laser radial à haute résolution, d'une plate-forme programmable d'isolation des vibrations et d'une table de broche motorisée à quatre roues pour un positionnement efficace des plaquettes. Cela permet un positionnement et un alignement des échantillons précis et reproductibles, ce qui réduit le temps nécessaire pour déplacer les échantillons autour de l'actif. En plus de ses capacités de haute performance, le TENCOR ASET F 5 X est également équipé de fonctions de sécurité. Le modèle offre une protection totale de surtension, des emboîtements locaux et une protection de court-circuit afin d'assurer la sécurité des opérateurs et du matériel. Il est également livré avec une unité d'arrêt d'urgence mobile et une alimentation intégrée pour une connexion point unique. KLA/TENCOR ASET-F5X est un choix idéal pour les utilisateurs qui ont besoin de tests et de métrologie de plaquettes rapides, fiables et précis. Il offre un débit et une répétabilité supérieurs ainsi que des caractéristiques de sécurité de pointe, ce qui en fait un choix idéal pour les installations de fabrication de semi-conducteurs qui cherchent à rationaliser leurs opérations.
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