Occasion KLA / TENCOR Candela 6100 #293597437 à vendre en France

KLA/TENCOR Candela 6100 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des mesures précises et répétables des caractéristiques physiques des plaquettes produites dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. Le système est équipé d'une unité d'imagerie photométrique à champ plein, à source variable, d'un microscope à fort grossissement plein champ et d'un profileur laser 3D. Cette puissante combinaison de capacités d'imagerie et de métrologie offre aux utilisateurs un outil efficace pour le contrôle des processus de wafer. La machine d'imagerie plein champ est capable de capturer une image complète de la plaquette avec à la fois le champ lumineux et l'éclairage du champ sombre. L'imagerie en champ lumineux permet de révéler des défauts topographiques, tandis que l'imagerie en champ sombre révèle des particules ou des particules qui peuvent ne pas être détectables sous inspection normale. De plus, l'outil d'imagerie peut détecter la présence de défauts de marquage, jusqu'à une taille minimale de 1,5 micron, ainsi que des pertes de revêtement sur la surface de la plaquette. Le microscope plein champ à fort grossissement vous permet d'identifier et de mesurer des paramètres clés tels que les cibles de superposition et les dimensions critiques. Le microscope est équipé d'un objectif de zoom de 10x à 100x, d'une distance de travail de 400mm et de trois modes d'éclairage différents - Off/On/Laser - pour identifier différents paramètres. Grâce au balayage automatisé, il peut également fournir une analyse de toute la surface de la plaquette, permettant des mesures plus précises. Le profileur laser 3D est utile pour vérifier la précision des couches métalliques et diélectriques. Le profileur est équipé de deux sources laser, de deux linescanners et de deux caméras. La source laser est utilisée pour mesurer l'épaisseur, la vitesse de gravure, la largeur de ligne et la topologie de surface des couches, tandis que le linescanner est utilisé pour mesurer la largeur de ligne, la rugosité des bords de ligne et le profil. Le profileur peut mesurer des plaquettes jusqu'à une épaisseur de 760 microns et un diamètre de 200mm. Dans l'ensemble, KLA Candela 6100 est un outil de test et de métrologie des plaquettes qui permet de mesurer avec précision les caractéristiques physiques des plaquettes semi-conductrices. Grâce à ses puissantes capacités d'imagerie et de métrologie, les utilisateurs peuvent suivre avec confiance leurs performances de processus, vérifier l'exactitude de leur produit et finalement améliorer leur rendement.