Occasion KLA / TENCOR Candela CS10 #293626641 à vendre en France
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KLA/TENCOR Candela CS10 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de haute performance. Le système est conçu pour aider les fabricants à améliorer le rendement de leurs produits en détectant les défauts, en mesurant les propriétés électriques du dispositif et en fournissant des données pour mieux comprendre les processus de fabrication. Le CS10 utilise une suite de testeurs de plaquettes automatisés et précis pour supporter une variété de tailles de plaquettes jusqu'à 300mm. Un moteur microstepper est utilisé pour fournir un positionnement précis des plaquettes X, Y et Z, permettant une mesure sensible de dimensions critiques précises. Un étage linéaire motorisé fournit un échantillonnage de surface de haute précision et contrôlable. Le CS10 utilise des capteurs d'inspection optique haute résolution et des algorithmes de traitement d'image pour détecter les particules, les défauts et les surfaces endommagées sur la plaquette. La technologie de détection laser multiple, d'injection de charge et de test de patch permet une surveillance précise de la couche, du substrat et de la distance radiale du dispositif. Le CS10 utilise également une unité d'alignement optique automatisée, qui élimine les erreurs humaines et augmente l'efficacité. Le CS10 fournit des données de métrologie rapides et précises pour la surface, le bord, la planéité et les trous de contact des plaquettes. Les capteurs intégrés de profilométrie verticale et horizontale mesurent la dimension critique du dispositif et recueillent des informations de corrosion et de rugosité en 3D. Le marquage laser automatisé permet également la traçabilité de la plaquette. Le CS10 prend en charge un large éventail de solutions de métrologie intégrées, y compris l'analyse de fonctionnalités sophistiquées et la formulation de paramètres de wafer. Il prend également en charge les mesures spectroscopiques définies par l'utilisateur et l'analyse des signaux afin de fournir des informations plus approfondies sur le processus de fabrication des dispositifs. Le CS10 fournit des connexions complètes aux outils logiciels et aux bases de données qui simplifient les opérations et améliorent la fiabilité des données. La machine prend également en charge des applications centralisées telles que LMIS et offre une évolutivité et une flexibilité pour répondre aux besoins changeants. En conclusion, KLA CANDELA CS-10 propose à ses clients des solutions précises et fiables d'essais de plaquettes et de métrologie. Avec ses caractéristiques avancées, sa haute précision et son extensibilité, les fabricants peuvent bénéficier d'un rendement et d'une productivité accrus.
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