Occasion KLA / TENCOR Candela CS10 #9179263 à vendre en France

KLA/TENCOR Candela CS10 est un système d'essai et de métrologie des plaquettes utilisé pour la métrologie de haute précision des plaquettes, y compris les mesures telles que la dimension critique (CD) et la superposition. Le CS10 fait partie de la série d'outils Candela, et il offre une large gamme de capacités d'inspection automatisée pour une variété de projets. Il s'agit notamment de l'examen de l'emplacement des défauts critiques, de l'analyse des défaillances, de la surveillance des processus et de la vérification partielle. Il est adapté aux règles de conception de 140nm et 90nm, avec une extraction de caractéristiques allant jusqu'à 55nm. Le mécanisme avancé de manutention des plaquettes du CS10 permet de travailler facilement avec des plaquettes à haute température (jusqu'à 500 degrés Celsius) et divers diamètres de plaquettes (de 200 mm à neuf pouces). Son interféromètre laser haute vitesse assure une métrologie précise avec une augmentation de quatre fois de la vitesse de mesure efficace par rapport au système précédent. Le CS10 possède à la fois un débit supérieur de plaquettes et une précision de données. Il dispose d'un détecteur puissant et fiable, offrant une surface de mesure totale de près de 2 000 millimètres carrés. A grande vitesse, il offre 200 mesures par seconde. Le CS10 est équipé d'une multitude de caractéristiques opto-mécaniques, telles qu'un champ de mesure étendu, une optique radiométrique refroidie par rayonnement et des moteurs optimisés pour la vitesse et la précision. Ses algorithmes de détection de bord basés sur l'image permettent de déterminer avec précision les hauteurs de bord et de pas pour des mesures avancées des plaquettes. KLA comprend la suite logicielle Trace - qui facilite l'acquisition de données et la manipulation simplifiée du système optique - et une interface utilisateur graphique qui simplifie le fonctionnement pour les utilisateurs de tous les niveaux d'expérience. Ensemble, ces caractéristiques se combinent pour faire du CS10 un choix idéal pour la métrologie des plaquettes.