Occasion KLA / TENCOR CI-T53P #293635058 à vendre en France
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KLA/TENCOR CI-T53P est un équipement d'essai de wafer et de métrologie conçu pour les applications de contrôle temps à temps des processus. Il s'agit d'une configuration autonome qui combine des architectures système avancées et des composants optomécaniques intégrés pour fournir des services de métrologie fiables et performants. Le T53P est capable d'effectuer un large éventail de mesures de contrôle de procédé telles que résistivité, mesure de résistivité, épaisseur d'oxyde, qualité du film, dimension critique (CD )/diamètre, angle de flanc, fuite de courant et analyse de profondeur. Il peut également évaluer les images de métrologie à partir d'une caméra de visualisation et analyser les caractéristiques du motif de la plaquette telles que la largeur de la ligne, la hauteur de la porte, l'angle de surplomb et l'alignement du masque. La capacité de métrologie de l'unité T53P comprend quatre phases clés pour le contrôle complet des processus et la fabrication uniforme des appareils. Inclus dans le T53P est un logiciel très avancé pour gérer le processus total. Le logiciel comprend une interface utilisateur graphique intuitive qui fournit une méthode facile pour entrer les paramètres, générer des programmes de test et stocker les résultats de test. La machine est également livrée avec une gamme puissante d'outils d'analyse statistique pour définir davantage les résultats de contrôle de processus tout en contrôlant les conditions de métrologie des wafers et les niveaux d'analyse. La capacité de balayage de l'outil fournit des informations détaillées sur les structures de points semi-conducteurs pour ouvrir la voie à des services de métrologie rapide des plaquettes avec de nombreuses images de test. Son outil d'interchangeabilité des substrats permet de mesurer instantanément des modèles complexes et de les comparer aux spécifications précédentes. Cela permet de s'assurer que le bon design va de l'avant. L'actif T53P permet des performances supérieures pour les tests à grande échelle. Il a un grand champ de vision et un haut taux de capture de données pour les temps de retournement rapide. Il dispose également d'une opération intuitive, permettant aux ingénieurs de définir des paramètres, de personnaliser les flux de processus et de générer des résultats détaillés en quelques secondes. Le T53P est un modèle entièrement intégré avec tous les outils nécessaires pour des tests et analyses précis. C'est une solution tout-en-un pour le contrôle avancé des processus. Grâce à ses caractéristiques robustes, l'équipement permet aux fabricants d'identifier avec précision les défauts de processus, de valider leur fidélité et de maintenir leur processus de production en ligne.
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