Occasion KLA / TENCOR CI-T53P #9254920 à vendre en France

KLA/TENCOR CI-T53P est un équipement de mesure et de métrologie automatisé de pointe utilisé pour mesurer, inspecter et analyser divers paramètres sur les plaquettes de silicium. Il combine les dernières technologies de métrologie, des commandes de mouvement sophistiquées et de puissants outils de contrôle de processus pour fournir des données précises et reproductibles pour les processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système KLA CI-T53P offre deux capacités majeures pour l'analyse des plaquettes : la métrologie et les essais. Ses capacités de métrologie permettent de tester plusieurs paramètres dans une seule plaquette, tels que l'épaisseur, l'arc/chaîne, la largeur et le recouvrement. L'unité est capable de mesurer le recouvrement dans un rayon de 0,25 microns, ce qui en fait une solution idéale pour contrôler la précision du recouvrement dans les conceptions avancées de dispositifs. En outre, TENCOR CI-T53P peut analyser les plaquettes pour une variété de paramètres mécaniques, tels que la planéité, la rugosité de surface et la contamination des particules. CI-T53P machine est également équipée d'une suite complète de tests qui peuvent être effectués pendant un seul cycle. Un de ces tests est l'inspection par défaut photo (PDI), qui mesure précisément l'emplacement, la taille et la forme des motifs de photolithographie sur la plaquette. Un autre exemple est l'imagerie de dimensions critiques (CDI), qui peut être utilisé pour mesurer avec précision les largeurs de lignes fines et d'autres caractéristiques de l'appareil. Ces tests permettent de s'assurer que les plaquettes produites sont exemptes de défauts et que les caractéristiques du dispositif sont dans les limites. L'outil KLA/TENCOR CI-T53P est conçu pour fournir des données précises et reproductibles aux opérateurs. Ceci est activé grâce à une interface intuitive qui permet l'intégration de diverses précisions lors de l'utilisation de divers outils de test. De plus, KLA CI-T53P intègre des outils avancés de contrôle des processus statistiques (RCP) afin de s'assurer que les résultats de chaque test sont dans la plage souhaitée. Cela permet un large éventail de capacités de traçabilité, d'analyse prédictive et de maintenance des processus de wafer. Dans l'ensemble, TENCOR CI-T53P est un puissant modèle d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir une précision, une précision et des données reproductibles supérieures dans le processus de fabrication des dispositifs semi-conducteurs. Ses capacités avancées permettent aux opérateurs de gérer et de contrôler plus efficacement les différents paramètres du test des plaquettes.