Occasion KLA / TENCOR CTC / FT / FT-500 / FT-530 #293609395 à vendre en France

ID: 293609395
Film thickness measurement system PREMIUM 386SX/16 Desktop.
KLA/TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530 est un système d'essai et de métrologie des plaquettes, conçu pour les essais optiques de précision des plaquettes semi-conductrices. Son fonctionnement automatisé et sa conception robuste permettent des essais fiables et répétables de plaquettes avec un haut niveau de précision et de répétabilité. Le système utilise des mesures de métrologie avancées à haute résolution et des algorithmes de contrôle avancés pour mesurer avec précision une variété de caractéristiques sur la surface d'une plaquette de semi-conducteur, y compris la topographie, l'uniformité CD (dimension critique) et les quantités de dopants. KLA CTC/FT/ FT-500/ FT-530 se compose de quatre unités principales : une tête optique, un étage de wafer, un interféromètre optique et un logiciel de balayage. La tête optique est une unité avancée qui abrite quatre optiques, dont un objectif de mesure, un objectif de référence et deux objectifs numériques. Ensemble, ces optiques rassemblent une image détaillée de la surface de la plaquette, puis projettent une série d'empreintes convergentes sur la surface de la plaquette. L'étage de plaquette est une plate-forme de goniomètre motorisé qui positionne précisément la plaquette et l'oriente par rapport à l'optique. L'interféromètre optique est une unité haut de gamme qui mesure le déplacement, les limites de déplacement et la planéité. Le dispositif utilise un laser et un réseau de diffraction pour créer un motif d'interférence sur la surface de la plaquette, puis utilise un ordinateur pour analyser le motif, fournissant une mesure précise et répétable de planéité. Enfin, le logiciel de balayage est utilisé pour automatiser et contrôler le processus de test et de métrologie des plaquettes. Le logiciel permet à un utilisateur de configurer et de surveiller le processus de test, d'analyser les résultats de mesure et de générer des rapports. En outre, le logiciel comprend une variété de fonctionnalités qui optimisent le processus de test, y compris la fonctionnalité de test automatique et la capacité de référence automatique. TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530 est idéal pour les applications de test optique de précision qui nécessitent des mesures précises et répétables des plaquettes semi-conductrices. Le fonctionnement automatisé et les conceptions robustes du système permettent des tests fiables et répétables des plaquettes avec un haut niveau de précision et de répétabilité. Dans l'ensemble, CTC/FT/ FT-500/ FT-530 est la solution idéale pour les essais de wafer et les besoins de métrologie.
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