Occasion KLA / TENCOR D-600 #9411226 à vendre en France

KLA/TENCOR D-600 est un équipement de métrologie de wafer de pointe conçu pour mesurer les propriétés des matériaux, les propriétés électriques et la géométrie des wafers des substrats et matériaux avancés. Le système peut être configuré pour répondre à divers besoins de processus et utilise l'imagerie avancée, l'inspection des défauts et les algorithmes d'analyse pour effectuer des inspections très précises et reproductibles. L'unité est construite sur une plate-forme d'imagerie modulaire et se compose de 6 composants principaux qui comprennent une station d'imagerie, une machine de vision, une interface de manipulation d'échantillons, une station de métrologie, un outil de contrôle thermique, et une unité de diagnostic et de contrôle. La station d'imagerie utilise des techniques d'imagerie à haute résolution, telles que la diffusion optique, la fluorescence et la spectroscopie Raman, pour fournir une analyse détaillée du matériau de la plaquette. L'actif de vision capture des images en temps réel et peut mesurer des caractéristiques sur la plaquette aussi petites qu'un micron de taille. L'interface de traitement des échantillons permet de charger et décharger automatiquement les échantillons du modèle. La station de métrologie mesure des caractéristiques telles que l'épaisseur, la planéité, la rugosité de surface, la contamination et la réflectivité. L'équipement est également capable de détecter les propriétés électriques et d'analyser les défauts potentiels. Ces données sont ensuite analysées pour fournir des informations sur les propriétés de la plaquette. Le système de contrôle thermique maintient la plaquette à une température optimale pour garantir une mesure précise. Enfin, l'unité de diagnostic et de contrôle fournit à l'opérateur une interface pour configurer les paramètres de l'unité, visualiser les résultats de l'inspection et modifier les paramètres de l'expérience. Il permet également à la machine d'être actionnée à distance et peut interagir avec d'autres systèmes du laboratoire. En intégrant les dernières technologies et conceptions, KLA D-600 est en mesure de réaliser une variété d'applications de métrologie de plaquettes rapidement et avec précision.