Occasion KLA / TENCOR eRanger 5200 #293621220 à vendre en France

KLA/TENCOR eRanger 5200 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir un contrôle complet des processus pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Développé avec la dernière technologie de fabrication de semi-conducteurs, le système eRanger est conçu pour fournir des mesures précises de l'épaisseur, de la forme et du profil des plaquettes avec une grande précision et répétabilité. L'optique avancée de l'unité et les systèmes microélectromécaniques intégrés (MEMS) lui permettent d'effectuer une métrologie sur le côté avant et le côté arrière de la plaquette, ainsi que des mesures de surface avec des détails complets. L'eRanger dispose de mesures automatisées sur les plaquettes Flip Chip et Wirebond. Son optique avancée lui permet de capturer et de mesurer les masques souples et durs en 1 micron de résolution par prise de vue tout en fournissant des images de faisceau d'ions allant jusqu'à 10 microns. Les capacités de profilométrie 3D de la machine peuvent mesurer des diamètres de plaquettes et des angles de biseau, une courbure de rayon, des jantes et des marches, le tout en une résolution de 1 micron. Il permet également la mesure et l'analyse des paramètres de hauteur et de planéité des coussins, facilitant la mise en page, la métrologie et le contrôle des processus. L'outil est également capable de mesurer les défauts induits par le processus tels que la largeur des lignes métalliques, le pas et le rayon d'angle. Sa conception de processus robuste unique améliore le contrôle des plaquettes et réduit le risque d'addition de particules et de contamination. L'actif optique à haut débit de 8 pouces est entièrement compatible avec la plupart des processus de plaquette, permettant des mesures optimisées de la ligne de visée entre la plaquette et l'échantillon. Cela permet au modèle eRanger d'assurer un alignement suffisant et répétable de la plaquette à l'échantillon et une répétabilité de position pendant les cycles de mesure. L'équipement KLA eRanger 5200 est un excellent choix pour les entreprises qui cherchent à économiser des coûts et à réduire la variance de leurs procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est robuste, facile à utiliser, et fournit des mesures fiables et de haute précision avec répétabilité et précision dans la gamme micron. Le système réduit activement les risques de contamination et assure un fonctionnement confortable et ergonomique pour les opérateurs. Enfin, sa compatibilité avec la plupart des procédés de wafer en fait un excellent choix pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.