Occasion KLA / TENCOR eRanger 5200 #293625706 à vendre en France

KLA / TENCOR eRanger 5200
ID: 293625706
SEM Defect review system (2) Load ports Chamber.
KLA/TENCOR eRanger 5200 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir une analyse et des mesures rapides et précises des dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour numériser et mesurer rapidement, avec précision et de façon répétée jusqu'à 4 "et 200 mm de plaquettes. Il peut mesurer une grande variété de paramètres, des défauts de surface de base aux profils, caractéristiques et processus complexes. Les technologies d'imagerie avancées de KLA eRanger 5200 offrent des images de haute résolution des défauts et des signatures de processus, avec une précision et une répétabilité supérieures pour un rendement maximal des plaquettes. TENCOR eRanger 5200 est construit sur une plate-forme entièrement automatisée, éliminant le besoin de manutention manuelle des plaquettes. L'unité peut être configurée rapidement pour mesurer une variété de défauts et de processus sur n'importe quelle plaquette de taille. Le magazine de plaquettes intégré contient jusqu'à 80 plaquettes pour le chargement automatisé des plaquettes, et la cartographie automatisée des plaquettes assure les niveaux de répétabilité les plus élevés. Le gestionnaire robotique intégré permet à la machine de déplacer rapidement et avec précision la plaquette tout en effectuant des tests et des mesures. ERanger 5200 offre des capacités d'inspection automatisées et manuelles, permettant aux ingénieurs et aux opérateurs d'identifier rapidement les défauts ou de traiter les signatures de manière plus détaillée. Le mode d'inspection automatisé règle les mesures de pointe et trie les plaquettes non qualifiées, tandis que le mode manuel permet à l'utilisateur d'ajuster les paramètres et d'effectuer des inspections plus détaillées. L'outil offre également une résolution de 500µm de largeur de ligne sur les caractéristiques critiques, ainsi qu'une haute densité de points et une couverture de fonctionnalités. L'actif comprend une gamme d'applications logicielles conçues pour augmenter le débit et la précision. Cela inclut le logiciel KLA Targetrunner Co-Planarity pour mesurer la coplanarité des plaquettes, ainsi que TENCOR Insight pour visionner des images, analyser des données et générer des rapports. KLA/TENCOR eRanger 5200 comprend également le logiciel KLA/TENCOR GP-View pour automatiser le défilement et le zoom des images, ce qui permet d'obtenir plus de détails lors de l'analyse des défauts. Dans l'ensemble, le modèle KLA eRanger 5200 est un modèle avancé d'essai et de métrologie des plaquettes qui permet d'identifier et de quantifier rapidement et avec précision un large éventail de types de processus et de défauts. Ses fonctionnalités avancées d'imagerie et de logiciel permettent à l'équipement d'obtenir une répétabilité et une précision supérieures, réduisant ainsi la perte de rendement globale des plaquettes.
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