Occasion KLA / TENCOR eRanger 5200 #9263058 à vendre en France

KLA / TENCOR eRanger 5200
ID: 9263058
Taille de la plaquette: 12"
SEM Defect review systems, 12".
KLA/TENCOR eRanger 5200 est un équipement d'essai et de métrologie de nouvelle génération conçu comme un outil avancé pour mesurer l'épaisseur du film et les matériaux optiques sur les plaquettes. Ce système est conçu pour fournir une résolution, une vitesse et une précision ultra-élevées tout en garantissant des résultats de haute qualité. L'unité est basée sur une plate-forme hybride semi-conductrice/métrologie, comprenant un microscope laser à balayage solide, un microscope optique, un quad-détecteur, un réflectomètre à rayons X et d'autres technologies de métrologie avancées. KLA eRanger 5200 offre une large gamme de capacités de mesure et d'analyse, y compris l'imagerie de surface, les propriétés optiques de surface, le dépôt/gravure de film, l'étalonnage de machine, et plus encore. Sa machine optique sans contact dispose d'un contrôleur à miroir mobile et d'un imageur haute résolution, permettant une mesure à grande vitesse, même sur les bords d'une plaquette. De plus, le réflectomètre à rayons X fournit une solution unique pour la caractérisation des matériaux, permettant à l'opérateur de mesurer l'épaisseur et la densité du film en quelques secondes. Les progiciels avancés de TENCOR eRanger 5200 offrent des fonctionnalités complètes, y compris la configuration automatisée des tâches, le montage automatique des processus, l'édition des cartes des plaquettes et le contrôle statistique des processus. Il fournit également l'analyse et le calcul d'images, ainsi que des routines de traitement de données statistiques avancées. Afin d'assurer la précision, cet outil s'est avéré très reproductible avec une précision traçable. ERanger 5200 utilise également un actif de détection quad, permettant de regrouper simultanément quatre plaquettes en une seule mesure. Cela permet des temps de test plus rapides et un meilleur débit. Le modèle dispose également d'un équipement de manutention flexible qui offre une compatibilité maximale avec différents types de plaquettes. KLA/TENCOR eRanger 5200 a été conçu pour augmenter le rendement des procédés et la qualité des produits grâce à l'amélioration des essais de plaquettes et de la métrologie. Sa combinaison d'imagerie haute résolution et de logiciels avancés améliore considérablement les capacités de test au niveau des plaquettes, fournissant des résultats fiables et une visibilité accrue des processus. Il peut être utilisé dans une variété d'industries, telles que les semi-conducteurs, MEMS, LED, et les cellules solaires. L'architecture flexible du système permet également une intégration dans les processus semi-conducteurs existants, permettant une productivité encore plus grande.
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