Occasion KLA / TENCOR F5x #9243619 à vendre en France

ID: 9243619
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Film thickness measurement system, 12" FOUP: (2) TDK TAS300 YASUKAWA Robot PC System Hard Disk Drive (HDD) missing 2001 vintage.
KLA/TENCOR F5x est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe utilisé pour l'assurance qualité dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des mesures très précises et répétables d'une grande variété de propriétés de plaquettes. KLA F5x dispose d'un système de caméra CCD sophistiqué, fournissant des mesures précises et répétables de la topographie des plaquettes d'essai, ainsi qu'une suite complète d'applications d'analyse des défaillances et de densité des défauts. Il est entièrement automatisé, permettant un contrôle rigoureux sur les mesures de processus pour aider à garantir les normes de qualité les plus élevées des dispositifs semi-conducteurs. TENCOR F 5 X intègre une variété de technologies d'imagerie, comprenant à la fois des capacités d'inspection et de métrologie. En particulier, son appareil photo CCD capture des images d'une plaquette en 614 segments différents, chaque segment étant analysé à l'aide de la photométrie spectrale pour extraire des caractéristiques détaillées de diffusion de la lumière optique. On procède ensuite à une série d'essais automatisés, par exemple pour la mesure de la dimension critique (CD) et de la densité des défauts, ainsi qu'à l'évaluation des défauts de la matrice à la matrice. Outre sa machine CCD, F5x dispose également d'un profilomètre optique intégré, fournissant des informations de topographie 3D et d'imagerie transversale en temps réel. Il comprend également une gamme complète de capacités d'analyse des défaillances, y compris la localisation et la classification automatiques des défectuosités, la superposition de la microscopie électronique à transmission de défaillances (TEM) et l'isolement des défectuosités pour une analyse plus approfondie. Enfin, F 5 X offre une gamme complète d'outils d'analyse de données, permettant à l'utilisateur d'interpréter, d'exporter et d'appliquer rapidement et de façon fiable les données des applications de test de wafer et de métrologie pour optimiser le contrôle des processus. Cela inclut l'accès à une gamme d'algorithmes statistiques, aidant à surveiller les tendances et les modèles non aléatoires. En résumé, KLA/TENCOR F 5 X est un outil très avancé pour l'essai et la métrologie des plaquettes de dispositifs semi-conducteurs. Il offre une plate-forme automatisée pour mesurer et évaluer la topographie, l'analyse des défaillances et la densité des défauts, tout en proposant une gamme d'outils d'analyse des données pour soutenir l'optimisation des processus. Avec sa gamme impressionnante de capacités, TENCOR F5x apporte une contribution précieuse pour garantir les normes de qualité les plus élevées de la production de dispositifs semi-conducteurs.
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