Occasion KLA / TENCOR Flexus 2320 #293724377 à vendre en France

KLA/TENCOR Flexus 2320 wafer testing and metrology equipment est un système de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour tester les propriétés électriques, visuelles et dimensionnelles des plaquettes et autres grands échantillons dans un environnement de haute précision. L'unité KLA Flexus 2320 est composée de deux composantes principales : FlawTec Software FTI-100A a basé le fait de refléter la machine et un outil de Métrologie de SolsTec complètement automatisé, lié pour fournir l'essai de gaufrette automatisé supérieur et les capacités de métrologie à l'utilisateur. L'actif logiciel FTI-100A FlawTec fournit des signaux de défaut utilisant des optiques très sensibles avec une résolution de sous-micron. Il se compose d'une variété de composants dont un sous-système d'optique, un microscope électronique à émission de champ, un sous-système de capture et de traitement d'image et un logiciel de classification des défauts. Le sous-système optique acquiert des images à l'aide d'une caméra CCTV à haute sensibilité, d'une optique et d'un détecteur d'images CMOS. Le microscope électronique permet d'examiner des motifs et des grilles fixes ainsi que des défauts de ligne, des variations de processus et des limites de grain. Une fois les images capturées, un sous-système de traitement automatisé des images utilise un ensemble d'algorithmes pour détecter et identifier les défauts. Après quoi, le logiciel de classification des défauts utilise des algorithmes de classification personnalisés pour catégoriser les défauts. Le modèle SolsTec Metrology inclut une suite d'outil de métrologie automatisée utilisée pour le niveau de gaufrette les mesures planaires de paramètres critiques telles que l'épaisseur, le rayon de courbure, platitude et d'autres propriétés de surface. Ces données permettent d'optimiser davantage les procédés de fabrication des semi-conducteurs. L'équipement utilise un étage de moteur linéaire à grande vitesse offrant une plage de mouvement de plus de 200mm, avec une vitesse allant jusqu'à 600mm/s. Une caméra CCD haut de gamme est également utilisée pour capturer les images des plaquettes et mesurer les caractéristiques jusqu'à 0,04 microns en 2D et 0,1 microns en 3D. Le logiciel utilisé pour la métrologie utilise également une approche « multi-étapes » sophistiquée, ce qui signifie qu'il peut mesurer différentes caractéristiques sur différentes parties d'une plaquette. Le système TENCOR Flexus 2320 fournit une unité efficace pour les essais de plaquettes et la métrologie. Grâce à sa combinaison de reconnaissance rapide et précise des défauts et de capacités de métrologie de haute précision, Flexus 2320 est en mesure de fournir aux fabricants des données utiles pour optimiser les processus de fabrication des semi-conducteurs. Sa technologie de pointe permet également de tester de grandes plaquettes dans des délais plus courts que les systèmes traditionnels, tout en conservant le même niveau de précision élevé.