Occasion KLA / TENCOR Flexus 2320 #9031965 à vendre en France
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Vendu
ID: 9031965
Style Vintage: 1991
Dual Wavelength 500 deg C Scanning Thin Film Stress Measurement System, up to 6"
Accurately measures the stress of thin films at temperatures up to 500 deg C
Stress measurements performed at high temperatures provide a better understanding of film properties
Detects conditions that lead to reliability problems such as metal film and dielectric cracking, voiding and lifting, and hillock formation
Wafer topography can be displayed in both 2-D and 3-D
115V, 50/60 Hz, 11A
1991 vintage.
KLA/TENCOR Flexus 2320 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour le contrôle de processus et l'analyse de rendement au niveau des plaquettes. Le système dispose d'un large choix de fonctionnalités avancées qui lui permettent d'acquérir, d'analyser et de rendre compte de divers résultats à partir de surfaces de plaquettes, ainsi que d'évaluer et d'ajuster un large éventail de caractéristiques importantes. Le KLA Flexus 2320 est équipé de capacités d'imagerie en 5 dimensions, de mesures de niveau pixel de haute précision pour l'uniformité et de métrologie de superposition avancée. Cette unité de métrologie de pointe offre des capacités de mesure volatiles et non volatiles, y compris l'examen des défauts, la fidélité des patrons de lignes, la largeur des lignes, la focalisation et les mesures de recouvrement. Les outils d'examen des défauts de la machine permettent de séparer les particules, les trous d'épingle, les rayures, les pellicules et autres défauts des vrais défauts et des fausses sources d'alarme. TENCOR Flexus 2320 est également équipé d'une gamme de fonctions d'analyse d'image et de métrologie qui comprennent la proration, l'angle de ligne, la largeur de ligne et la métrologie de défaut. Cette suite de fonctionnalités logicielles et matérielles est conçue pour permettre un contrôle des processus basé sur les spécifications, des mesures répétables et un débit supérieur. Il est capable de détecter des particules et des vides sur des plaquettes sans nuire au processus de la plaquette. Grâce à ses capacités avancées d'imagerie en 5 dimensions, Flexus 2320 peut rapidement acquérir plusieurs données paramétriques pour chaque plaquette, ce qui permet de détecter les défauts à plusieurs niveaux, y compris la hauteur, la surface, le profil de bord, la dimension latérale, la mobilité des électrons et la capacité. Tout bruit ou poussière de décapage sur les plaquettes peut également être identifié et filtré à l'aide de ses capacités d'imagerie avancées. En outre, KLA/TENCOR Flexus 2320 offre une gamme d'options pour le contrôle des processus. Ses capacités d'analyse et de reporting ultramodernes permettent de disposer de placettes Sigma en temps réel qui peuvent être utilisées pour valider les spécifications des processus. Cet outil peut également générer des images 3D de défauts sur des plaquettes qui permettent d'analyser les causes profondes des défaillances catastrophiques. KLA Flexus 2320 peut également détecter l'emplacement des défauts et les signaler pour examen et/ou inspection. TENCOR Flexus 2320 offre une solution extrêmement flexible et performante pour les essais de plaquettes et la métrologie. Ses capacités avancées et ses puissantes fonctionnalités logicielles et matérielles permettent une validation rapide des processus, des mesures répétables, la détection des défauts et le contrôle des processus. Ses capacités complètes de métrologie et d'imagerie en font un choix imbattable pour les tests et la métrologie des plaquettes de haute précision et fiables.
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