Occasion KLA / TENCOR FLX-2320 #293597103 à vendre en France

KLA / TENCOR FLX-2320
ID: 293597103
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-2320 est un équipement d'essai et de métrologie flexible et automatisé conçu pour l'inspection et l'analyse à haut débit de structures avancées de semi-conducteurs 3D. L'outil peut détecter des caractéristiques aussi petites que 2,5 nanomètres et fournir une analyse complète des paramètres électriques et optiques critiques dans les structures complexes de plaquettes. KLA FLX-2320 utilise une combinaison exclusive de lasers et d'optiques pour discerner avec précision les caractéristiques des couches semi-conductrices. Les signaux optiques induits par laser sont mesurés et analysés en temps réel, fournissant des mesures très précises des tailles de longs métrages, des épaisseurs de films et d'autres propriétés. Un système de faisceau d'électrons à balayage est ensuite utilisé pour créer une carte de mesure et d'analyse automatisées (AMAT) de la structure de la plaquette. Cela permet la mesure sur plaquette de paramètres électriques, optiques et autres avec un haut degré de précision. L'unité offre également une variété d'outils de contrôle de processus. Au total, 32 canaux de métrologie parallèles indépendants sont disponibles pour contrôler plusieurs étapes de processus. De plus, la machine peut être intégrée avec des logiciels standards et spécialisés, y compris des programmes de contrôle et de test de processus, permettant une intégration transparente dans d'autres systèmes de production et de test. TENCOR FLX 2320 est conçu pour fournir des données d'essai très précises, réduire le temps de mesure, réduire les déchets et améliorer le rendement du procédé. L'outil dispose de fonctions de script faciles à utiliser et de compatibilité avec divers programmes d'analyse, ce qui donne des mesures fiables et répétables. En outre, l'outil est convivial, avec une interface graphique qui peut supporter une programmation rapide et facile par le personnel avec une expérience limitée. Dans l'ensemble, le FLX 2320 offre une solution robuste, très précise de test de plaquettes et de métrologie pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Avec ses capacités à haut débit et ses outils puissants de contrôle des processus, il est un choix idéal pour une variété d'applications de développement et de fabrication de semi-conducteurs.
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