Occasion KLA / TENCOR FLX-2320 #293765088 à vendre en France

KLA/TENCOR FLX-2320 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes qui combine la métrologie en ligne avec l'inspection avancée des défauts et l'essai des plaquettes à grande vitesse pour mesurer, analyser et améliorer les structures des plaquettes. Cet outil haut de gamme a la capacité de mesurer avec précision les structures des appareils de 0,2 à 100 μ m avec une précision inégalée. KLA FLX-2320 est conçu pour tester tout type de matériaux de plaquettes et fournit épaisseur en ligne, TTV, planéité, point central, déformation des bords, et mesures de chaîne. Le système est équipé de la dernière technologie de détection de bord propriétaire, qui lui permet de mesurer et de détecter avec précision la déformation et la chaîne des bords, tant du même côté qu'à 90 ° d'angle. La technologie d'imagerie de surface TENCOR FLX 2320 lui permet également de détecter avec précision les défauts et les contaminants sur les surfaces des plaquettes. Il a des capacités avancées de détection des défauts, y compris l'imagerie de surface avancée, la cartographie de la rugosité de surface, et la mesure de la taille et de la position des défauts. Il dispose également d'une fonction de test de wafer haute vitesse qui lui permet de tester rapidement jusqu'à 100 wafers par heure. KLA/TENCOR FLX 2320 dispose également d'une unité de contrôle des défauts haut de gamme qui lui permet de détecter avec précision les défauts de fabrication et les particules à la surface de la plaquette. Cette machine est équipée d'une lentille optique haute résolution, qui lui permet de détecter des défauts jusqu'à 1,0 μ m de taille. Il dispose également d'un outil automatisé avancé d'analyse des défauts qui peut détecter et isoler les défauts sur les surfaces des plaquettes. En outre, FLX 2320 est également capable d'effectuer des mesures de film avancées, y compris l'épaisseur, la topographie, et la planarité. Cet actif est équipé d'un microscope électronique à balayage (SEM) qui peut mesurer et analyser avec précision les couches de film jusqu'à 500 nm d'épaisseur. Cela fait de KLA FLX 2320 un outil idéal pour mesurer les empilements avancés de films semi-conducteurs. Dans l'ensemble, TENCOR FLX-2320 est un modèle avancé d'essai et de métrologie des plaquettes qui combine la métrologie en ligne avec l'inspection avancée des défauts et l'essai à grande vitesse des plaquettes. Ses caractéristiques uniques en font l'outil idéal pour mesurer et améliorer les plaquettes, ainsi que pour détecter avec précision les défauts et les contaminants sur les surfaces des plaquettes.