Occasion KLA / TENCOR FLX-2320A #293754089 à vendre en France
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ID: 293754089
Style Vintage: 1993
Thin film stress measurement system
1993 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320A est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de haute performance qui fournit des résultats fiables et précis pour la caractérisation des dispositifs semi-conducteurs et le contrôle des processus. Le système dispose d'une conception optique avancée utilisant une plate-forme motorisée automatisée linéaire pour mesurer avec précision et cohérence les caractéristiques des appareils sur toute la gamme de tailles de plaquettes. L'unité est conçue pour fournir des capacités rapides et précises de dimensionnement, d'imagerie et d'analyse des défauts tout en assurant un débit élevé. KLA FLX 2320 A est équipé d'un certain nombre de technologies exclusives pour fournir une résolution et une précision supérieures dans les essais de plaquettes et la métrologie. La machine dispose d'une interface I-DAD, qui signifie « analyse et détection intégrées des défauts », pour fournir une analyse détaillée des défauts et la caractérisation des appareils. L'outil I-DAD utilise le balayage laser double et l'éclairage vertical combiné à plusieurs images de caméra pour générer une image 3D de la surface de la plaquette pour le calibrage et l'identification rapides et précis des défauts. L'actif est également capable de mesurer les caractéristiques électriques de chaque dispositif sur la plaquette avec réflectométrie temporelle. Cela ajoute aux capacités de métrologie du modèle et fournit un aperçu précieux des performances électriques de chaque appareil sur la plaquette. L'ajout du canal TDR permet aux utilisateurs de mieux comprendre les caractéristiques électriques de chaque appareil sur la plaquette. En outre, TENCOR FLX-2320-A est équipé d'un équipement avancé de traitement d'image pour classer et catégoriser les défauts. Cette fonction permet de réduire le temps consacré à l'inspection manuelle et au tri des défauts, augmentant la précision et le débit. Le système est alimenté par Windows 7 et contient une échelle de gris de 10 bits CCD avec 256 résolutions de niveau de gris et jusqu'à 1617 nm/px. L'étage de plaquettes est capable de recevoir jusqu'à 650 mm de plaquettes. Il comprend également une interface utilisateur graphique facile à utiliser et un robot intégré de prise de plaquettes pour la manipulation automatisée des plaquettes. En conclusion, KLA FLX-2320A est une unité de test et de métrologie de plaquettes puissante et fiable qui offre des fonctionnalités avancées telles qu'une interface I-DAD complète, un canal TDR, des capacités de traitement d'image et une machine de traitement automatisé des plaquettes. L'outil est conçu pour fournir des capacités de test de plaquettes haute performance, de métrologie et d'analyse de défauts afin d'assurer des résultats précis et un débit élevé.
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