Occasion KLA / TENCOR FLX-2320S #9303599 à vendre en France
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ID: 9303599
Taille de la plaquette: 3"-8"
Style Vintage: 2010
Stress measurement system, 3"-8"
Scan range: User programmable up to 8"
Minimum scan step: 0.02 mm
Maximum points per scan: 1250
Temperature range: RT to 500°C
Chuck: Heater block
Measurement speed: 6 sec/wafer
Measurement range: 1x10 to 4x10^10 dyne/cm²
Measurement repeatability (1s): 1x10^7 dyne/cm²
Measurement accuracy: <2.5% or 1 Mpa
Minimum radius: 2.0 m
Computer:
Pentium processor 700 MHz
RAM: 128 MB
Hard Disk Drive: 20 GB
Flat panel color monitor, 15"
Operating system: Windows XP
Power requirements: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 13 Å
Computer: 115 VAC, 50/60 Hz, 5.4 Å
2010 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320S est un équipement d'essai et de métrologie avancé conçu pour l'analyse et la caractérisation efficaces des dispositifs semi-conducteurs. La KLA FLX 2320 S utilise un système d'inspection intégré pour détecter des problèmes tels que l'écaillage, la fissuration et l'empilement qui est essentiel pour la fabrication globale et la qualité des produits. Les capacités de métrologie avancées de l'unité permettent également des mesures précises de la taille des défauts, de la complexité et de la planéité des plaquettes. TENCOR FLX-2320-S est alimenté par un processeur NXP 32 bits ARM Cortex-A9 RISC capable de fonctionner jusqu'à 1200MHz. Ceci est couplé à une mémoire vive DDR3 de grande capacité et à une mémoire Flash rapide de 8 Go. Il dispose également de trois systèmes de caméras embarquées à grande vitesse pour capturer des images pleines de plaquettes ainsi que des images zoomées d'emplacements de défauts spécifiques, facilitant des résolutions allant jusqu'à 0,8 microns. FLX 2320 S comprend une plate-forme de numérisation ouverte de 255mm avec des contrôleurs de mouvement intégrés pour une précision et une répétabilité élevées, permettant de suivre avec précision les échantillons pendant le processus d'acquisition. De plus, la machine arrive avec un ordinateur hôte de haute performance préinstallé avec le logiciel KLA iAlimenzInspect, permettant aux opérateurs d'effectuer des inspections rapides et précises des plaquettes. L'outil permet également de cartographier et d'analyser la distribution des défauts sur toute une plaquette de 200mm, tout en affichant simultanément une image de fausse couleur avec des caractéristiques de défaut. En outre, KLA FLX-2320S utilise l'automatisation intelligente pour rationaliser le processus d'inspection et offre une grande variété de recettes d'inspection. Ces recettes automatisées permettent aux opérateurs de définir des séquences d'inspection répétables selon les critères souhaités, de réduire le temps passé à calibrer les paramètres et de simplifier les comparaisons de lot à lot. L'actif accueille différents types de topographie de plaquettes, fournissant une plate-forme fiable pour la production de haut volume de dispositifs semi-conducteurs. Dans l'ensemble, FLX-2320S est un modèle avancé de test et de métrologie de wafer haute performance qui fournit des capacités complètes d'analyse des défauts. Ses caméras embarquées à haute vitesse et ses scans offrent une précision incroyable adaptée à tout environnement de production. Avec son ordinateur hôte exceptionnel et son automatisation intelligente, l'équipement a été optimisé pour simplifier les tâches d'inspection des plaquettes et rationaliser les opérations.
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