Occasion KLA / TENCOR FLX-2900 #193367 à vendre en France

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ID: 193367
Thin film stress measurement system, 4", 5", 6" Temperature range: room to 900°C Scan range: user programmable up to 6" Minimum scan step: 0.02mm Maximum points per scan: 1250 Measurement: Speed: 5 sec for 6" wafer Range: 2x10^7 for 80mm scan length to 2x10^10 dyne/cm2 (Stress upper limit increases with shorter scan length) Repeatability (1 omega): 1x10^7 dyne/cm2 for 80mm scan length For typical 525 um wafer with 10,000A film RMS noise: <0.0001 l/m (radius = 10,000m) at room temperature Minimum radius: 3.8m.
KLA/TENCOR FLX-2900 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui est devenu la norme de l'industrie pour la caractérisation des films minces, la texturation et les mesures dimensionnelles. Il offre des capacités avancées pour mesurer les échantillons les plus difficiles, y compris des couches actives et passives de divers matériaux, des plaquettes à motifs et des plaquettes. Le système dispose d'une conception d'étage de plaquettes inclinées par extension couplée à une unité de mouvement réfléchissante de haute précision pour une meilleure précision d'imagerie et de mesure. Ceci assure une uniformité inégalée pour la mesure des films utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, tels que les câbles métalliques, les espaceurs et les couches de contact. Pour des tests robustes, KLA FLX-2900 propose un algorithme de détection et de segmentation avancé qui identifie et différencie automatiquement une variété de matériaux. La machine utilise un module de mesure 3D propriétaire avec une grande sensibilité pour caractériser avec précision la nanostructure. Il utilise également des techniques avancées de reconnaissance de motifs pour effectuer des mesures sur des plaquettes avec traçabilité. De plus, TENCOR FLX-2900 comprend une bibliothèque de processus flexible qui permet aux utilisateurs de créer leurs propres tests et séquences de processus personnalisés. Ces séquences peuvent être stockées et rappelées rapidement et facilement. En outre, l'outil offre une bibliothèque automatisée des conditions, ainsi qu'un outil d'optimisation du chemin de scan pour des résultats rapides et précis. L'actif est emballé dans un design compact pour offrir de la flexibilité à l'utilisateur. Il fournit une interface facile à lire pour permettre aux utilisateurs de gérer plusieurs tests avec facilité. Avec un large éventail de conditions d'évaluation, FLX-2900 donne aux utilisateurs des résultats précis et précis tout en leur permettant d'identifier facilement les problèmes et de prendre des mesures correctives. KLA/TENCOR FLX-2900 est un outil puissant qui fournit des résultats précis et fiables. Les capacités avancées, la flexibilité et les caractéristiques de mesure expansives du modèle en font le choix idéal pour la caractérisation des films minces, la texturation et d'autres mesures dimensionnelles. Cet équipement est la solution parfaite pour toute application de test ou de métrologie de plaquettes.
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