Occasion KLA / TENCOR FLX-2908 #293587953 à vendre en France

ID: 293587953
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1994
Thin film stress measurement system, 6" 1994 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2908 Wafer Testing and Metrology Equipment est une solution intégrée de métrologie conçue pour offrir une inspection et une métrologie de wafer haute vitesse et de haute qualité. Il est conçu pour assurer un débit optimal de plaquettes dans les opérations avancées de fabrication de semi-conducteurs. La plateforme KLA FLX-2908 combine la précision d'un système d'étalonnage automatisé de très haute précision avec des capacités de mesure de haute vitesse et de haute productivité. Il utilise une variété de capteurs optiques, d'imagerie et chimiques pour effectuer des inspections, des mesures et des analyses. Il offre également une fonction mémoire intégrée, permettant une analyse rapide et fiable des résultats. TENCOR FLX 2908 utilise une unité d'imagerie spéciale qui lui permet de capturer à la fois la surface de la plaquette et les détails latéraux. Il a une résolution latérale élevée et un taux de transfert d'image allant jusqu'à 10 MHz, ce qui permet un taux de balayage maximal de 8K x 8K en moins de 10 secondes. Avec cette machine, les utilisateurs peuvent mesurer et/ou inspecter les structures latérales des murs, vérifier les inclusions de défauts, inspecter les exigences de CD et de recouvrement et inspecter les chevauchements OPC. L'outil est également équipé d'un étage de plaquettes à température contrôlée unique pour assurer un environnement extrêmement uniforme et contrôlé avec précision. Cela permet d'assurer des performances répétables et fiables dans une large gamme de températures ambiantes. KLA/TENCOR FLX 2908 utilise également un atout d'alignement avancé pour positionner avec précision les plaquettes et les composants du modèle. Il s'agit d'une composante critique, car la précision des mesures dépend fortement de la précision et de la répétabilité de l'alignement. Enfin, l'équipement est livré avec une suite d'applications logicielles pour la surveillance, l'analyse et le reporting. Cela comprend une suite d'analyse sophistiquée qui peut détecter des défauts aussi petits que 3nm, et comprend une bibliothèque d'analyse sophistiquée qui permet aux utilisateurs de personnaliser les séquences et les paramètres d'inspection en fonction de leurs besoins spécifiques. En résumé, TENCOR FLX-2908 Wafer Testing and Metrology System est un outil incroyablement fiable et polyvalent conçu pour répondre aux exigences strictes des fabricants de semi-conducteurs les plus exigeants. Avec son alignement précis et reproductible, son unité d'imagerie haute vitesse, son étage contrôlé en température et son logiciel d'analyse puissant, FLX 2908 est la solution de choix pour garantir la qualité et les performances dans le traitement des plaquettes et la métrologie.
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