Occasion KLA / TENCOR FLX-2908 #9199147 à vendre en France
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ID: 9199147
Thin film stress measurement system, 3"-8"
Handler type: Wafer
Dual wavelength scanning
Room temperature: 900°C
Scan length: Up to 200 mm
PC With configuration:
Pentium processor: 133 MHz
RAM: 16 MB
Hard drive: 2.0 GB
SVGA Monitor
Hardware: Signal light tower
(2) User manuals
Accessories:
150 mm Certified wafer pair
200 mm Certified wafer pair
SECS/GEM Interface user manual
Power source: 208-240V, 50/60 Hz
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2908 Wafer Testing and Metrology Equipment fournit une solution complète de bout en bout pour la métrologie et le contrôle des processus. KLA FLX-2908 intègre des capacités de métrologie télécentrique avancées avec une puissante suite de logiciels de contrôle des processus. Les systèmes peuvent être configurés pour un large éventail de besoins de processus clients, tels que CD, morphologie, topographie, réflectivité et mesures de motifs. Avec un mélange unique de précision et de vitesse, TENCOR FLX 2908 peut répondre aux exigences de rendement les plus exigeantes. Le système de test de niveau de la plaquette, qui est alimenté par une plate-forme PC haut de gamme, a une tête optique intégrée 16 canaux et des sources d'imagerie de lumière blanche haute puissance.. Il comprend un nombre variable de sous-systèmes de vision et un ou plusieurs systèmes de métrologie télécentrique de haute précision, y compris un sélecteur de canaux de vision pour commutation rapide entre systèmes de vision. De plus, il existe un outil d'étalonnage intégré pour l'inspection de surface afin d'obtenir une précision unitaire maximale. KLA FLX 2908 dispose d'une machine PC bien ancrée, permettant à l'utilisateur de contrôler et de surveiller à distance l'outil, y compris la maintenance des actifs. Il comprend également un gestionnaire de test de plaquettes entièrement automatisé, une tête optique, un sous-modèle de vision, une suite de logiciels de métrologie, un logiciel d'automatisation de tests et une suite de diagnostics diagnostiques. TENCOR FLX-2908 peut accueillir jusqu'à 16 plaquettes de 8 à 200 millimètres de diamètre. L'équipement est équipé de capacités de métrologie avancées pour la figuration, l'imagerie et la caractérisation des matériaux. Il peut fournir des mesures de qualité d'image telles que la topographie et la cartographie des défauts pour assurer le rendement le plus élevé tout en fournissant les résultats les plus précis. KLA/TENCOR FLX 2908 offre également des fonctionnalités conçues pour augmenter la vitesse du système et réduire le temps de test. Un accélérateur de balayage haut de gamme exploite une architecture multi-canaux avec des algorithmes de balayage innovants ; qui améliorent considérablement le débit sans sacrifier la précision. Cela permet de mesurer avec précision une variété de caractéristiques physiques, allant des défauts de particules aux caractéristiques de déformation de surface. De plus, les capteurs électrostatiques de haute précision fournissent des mesures précises pour toutes les plaquettes d'essai. Les capacités de métrologie avancées, la vitesse unitaire et la précision jusqu'à 1 nanomètre se combinent pour rendre la machine hautement fiable et efficace. En outre, ses fonctionnalités avancées, y compris un logiciel intuitif d'interface graphique et une opération en un seul clic, permettent un fonctionnement facile et sans effort. FLX-2908 est un excellent choix pour tout client à la recherche d'un outil complet de test de plaquettes et de métrologie.
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