Occasion KLA / TENCOR FLX-2908 #9385708 à vendre en France

KLA/TENCOR FLX-2908 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie spécialement conçu pour l'inspection avancée des défauts de niveau de plaquettes. Il offre une combinaison de haute vitesse et de haute résolution dans un système unique, en maintenant les coûts initiaux et les dépenses récurrentes faibles. Cette unité est capable d'inspecter de nombreuses filières sur une plaquette donnée, permettant des mesures simultanées de dimensions critiques (CD) et de paramètres mesurés électriquement (paramètres E&S). En outre, cette machine intègre un outil de mesure embarqué de plusieurs produits, ce qui signifie qu'elle peut mesurer automatiquement plusieurs types de caractéristiques (y compris des caractéristiques agressives et des paramètres intensifs) à travers une plaquette. KLA FLX-2908 inspecte et mesure les paramètres souhaités avec une résolution CD/XP allant jusqu'à 5 µm. Il implémente des algorithmes sophistiqués d'imagerie, d'appariement de motifs et de mesure de profils de hauteur 3D pour détecter des défauts subtils sans sacrifier la vitesse de mesure. Cet atout contient une variété de technologies de métrologie embarquées, comme la mesure optique CD/XP, les mesures de caractéristiques topologiques 2D et d'autres techniques de métrologie. Il comprend également un modèle intégré d'inspection à fort grossissement qui met l'accent sur la détection des défauts et de la contamination. Cet équipement peut également accueillir les futures plates-formes d'inspection, comme l'inspection des défauts optiques. TENCOR FLX 2908 a des mesures CD/XP supérieures, une précision inégalée et une grande fiabilité. Son système de métrologie hybride offre une large gamme de mesures, des capacités d'inspection flexibles et un débit élevé. En outre, il offre un processus d'étalonnage automatisé, permettant des mesures de métrologie fréquentes et précises. Cette unité comprend également des capacités de RCP améliorées, une répétabilité améliorée des mesures internes et une machine automatisée de sauvegarde/restauration des données. Cet outil a un petit facteur de forme avec la robotique intégrée et peut même être utilisé dans les salles blanches de petite taille. Sa conception permet l'automatisation des tâches, en utilisant le transport robotique pour déplacer les plaquettes et les composants aller et retour pour une inspection/métrologie rapide et facile. Enfin, TENCOR FLX-2908 intègre un logiciel avancé de contrôle des processus statistiques (RCP), qui aide à la collecte, à l'analyse et à l'établissement de rapports afin de garantir une qualité cohérente.