Occasion KLA / TENCOR FLX-5400 #293623331 à vendre en France

KLA/TENCOR FLX-5400 représente la prochaine génération de systèmes d'essai et de métrologie des plaquettes. Cet équipement polyvalent et performant est idéal tant pour la production que pour la R&D. Il est capable de tester simultanément une grande variété de structures de plaquettes, de 200 mm à 450 mm. Il possède l'une des capacités de production les plus élevées de l'industrie et est capable de soutenir les méthodes métrologiques les plus récentes, telles que les boucles de rétroaction de disposition automatique et les mécanismes intégrés d'examen des défauts. KLA FLX-5400 présente un certain nombre de caractéristiques de conception innovantes. Le système utilise un manipulateur robotique autonome, qui peut se déplacer jusqu'à 9 degrés de liberté, pour permettre l'alignement 3D et la manipulation des plaquettes. L'unité d'éclairage met en œuvre plusieurs sources LED pour minimiser la variabilité, tandis qu'un algorithme d'optimisation propriétaire maintient l'image uniforme sur l'ensemble du champ de vision. Cela permet d'assurer des résultats de mesure précis. La machine utilise également des techniques d'imagerie multifonctions de pointe KLA. Cette technique utilise l'excitation à large bande avec trois caméras calibrées pour capturer les informations spectrales et angulaires de chaque couche de plaquettes. Le processeur puissant combine alors ces données multi-spectrales en un seul canal de mesure. Cela permet des mesures rapides et précises des caractéristiques des plaquettes, telles que la topographie de surface, la zone active, la proximité et le bord. Pour la caractérisation des défauts, TENCOR FLX 5400 comprend un certain nombre d'outils et d'algorithmes avancés. L'outil utilise Auto-Ready, une technologie qui permet à l'utilisateur de mettre en place rapidement une variété d'algorithmes de détection, de classification et d'analyse. Cela comprend des caractéristiques telles que la surveillance des processus, l'analyse des maladies, l'analyse du stress et des souches et la microscopie optique. KLA/TENCOR FLX 5400 comprend un logiciel robuste, qui fournit tous les outils nécessaires pour analyser et rapporter les résultats de chaque mesure. Il s'agit notamment d'outils de filtrage des données, de statistiques, de rapports, d'analyse des tendances et de corrélation. En outre, l'actif intègre SmartDefects Plus, qui permet de détecter et d'isoler facilement les défauts, ainsi que d'appliquer des mesures correctives. De plus, le KLA FLX 5400 offre une large gamme de flexibilité d'application. Les utilisateurs sont en mesure de configurer le modèle pour traiter n'importe quel type de structure de plaquettes, même en tenant compte de substrats structurellement complexes qui peuvent nécessiter une configuration supplémentaire. De plus, il est capable de fonctionner dans des configurations monobloc et cassette-à-cassette, ce qui le rend bien adapté à une variété de procédés de production. Dans l'ensemble, TENCOR FLX-5400 est un équipement de pointe, capable de métrologie de haute précision et d'analyse des défauts. Ce système est très bien adapté à une myriade d'applications de test de wafer et de métrologie au niveau de la production, et offre de nombreux avantages pour les besoins de test de wafer actuels et de prochaine génération.