Occasion KLA / TENCOR FLX-5400 #293648854 à vendre en France

ID: 293648854
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2015
Thin film stress measurement system, 8" 2015 vintage.
KLA/TENCOR FLX-5400 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe qui fournit une précision et des performances de haut débit à l'échelle nanométrique. Il identifie efficacement les particules et les défauts des substrats flottants, y compris les photomasques et les panneaux plats. Le système est conçu pour tester à des cycles de mesure plus petits et peut identifier les défauts 50X plus rapidement qu'une unité conventionnelle. KLA FLX-5400 utilise une technologie avancée d'imagerie à haute résolution pour mesurer les particules et les régions sujettes aux défauts sur les substrats. Il intègre des algorithmes automatisés de détection de particules pour identifier et autofocus sur ces régions afin de déterminer leur taille, leur forme et leur emplacement. En outre, la machine comprend de puissantes capacités d'analyse pour suivre et rendre compte des mesures individuelles des plaquettes. L'outil utilise une combinaison de techniques optiques et acoustiques pour identifier avec précision les particules sur la plaquette. Il intègre un réseau de capteurs avec des algorithmes avancés pour détecter des particules jusqu'à 0,1 microns de taille. L'actif utilise également des techniques de métrologie optique, comme le balayage descendant, pour identifier avec précision les particules. Le modèle peut mesurer les particules dans un large éventail de matériaux, tels que le silicium, le verre et le métal. Il est conçu pour répondre aux exigences strictes des procédés de fabrication de plaquettes à haut volume. L'équipement est équipé d'un autofocus précis qui s'adapte à la variation de topographie du substrat. Cette fonction permet de réduire le temps de mesure des particules et d'augmenter le débit. Le système est conçu pour fonctionner 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7 dans des salles blanches de classe 1. TENCOR FLX 5400 est une solution rentable pour les besoins d'essais de plaquettes et de métrologie qui peut facilement s'intégrer dans les installations de production. Il est capable de tester des centaines de substrats par heure. En outre, l'unité est soutenue par une gamme complète de logiciels, de matériel et de services conçus pour optimiser les performances et le rendement. La machine est évolutive avec des options et des accessoires qui offrent des options de personnalisation.
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