Occasion KLA / TENCOR FLX-5400 #9031780 à vendre en France

KLA/TENCOR FLX-5400 est un équipement de pointe d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour effectuer les tâches les plus complexes d'essai et de métrologie des plaquettes avec une précision et une répétabilité supérieures. Ce système est idéal pour les nœuds avancés incluant des applications de 5nm. KLA FLX-5400 utilise une combinaison de capacités d'imagerie optique et numérique, de mesure physique et d'analyse de processus avancée pour fournir des résultats de métrologie et de test de plaquettes extrêmement précis et fiables. Cette unité est intégrée à la Emerge™ 5000 Advanced Metrology Platform, une machine flexible et ouverte qui permet aux utilisateurs de sélectionner la meilleure combinaison de solutions de métrologie en fonction des exigences de l'application. Cette plate-forme comprend une série d'outils d'analyse de processus de haute performance tels que l'examen rapide des défauts, l'analyse de piste et la caractérisation, le tout avec un seuil de détection ultra bas et une résolution spatiale sans précédent. La technologie Automatisation et Robotique de l'outil permet une automatisation rentable des tâches de métrologie et de test de plaquettes à haut volume répétitif, permettant des résultats très reproductibles et fiables. L'actif intègre des commandes de mise au point dynamique de haute précision qui permettent une mise au point rapide et adaptative continue et l'acquisition d'image. Il comprend également une sélection de technologies d'imagerie optique et numérique adaptatives et des capacités AFM/SPM intégrées pour l'imagerie et l'analyse des défauts polyvalents. Pour la mesure physique, le modèle est intégré à des outils de métrologie de premier plan qui incluent la dimension critique Eddy-Current, Focus/Defocus, la profondeur de gravure et les capacités de métrologie couche/épaisseur de film. TENCOR FLX 5400 offre une puissante boîte à outils pour la détection et l'analyse des défauts de processus, qui comprend des images SEM de la plaquette et/ou die pour le diagnostic rapide des défauts à grains fins, l'analyse de données en temps réel pour corréler les métriques des processus et des produits avec les résultats des tests, et le contrôle statistique des processus pour la détection et la classification automatisées des défauts. Enfin, l'équipement est livré avec un large éventail d'options avancées de déclaration et d'exportation de données pour permettre le partage de données et de résultats d'essais avec les partenaires d'intégration en amont et en aval avec précision et confiance. L'utilisateur peut facilement configurer une gamme d'options de déclaration, y compris le contrôle d'accès basé sur les rôles pour un accès sécurisé et granulaire aux données. Ce système de test et de métrologie des plaquettes de pointe est l'outil de diagnostic ultime pour les nœuds avancés, etc.