Occasion KLA / TENCOR FLX-5400 #9271456 à vendre en France
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KLA/TENCOR FLX-5400 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de haute précision spécialement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour tester divers paramètres de substrats de plaquettes tels que l'épaisseur de la filière, la taille du coussin de liaison et la planéité de la filière, ainsi que pour détecter et mesurer les défauts des structures en vrac et des couches minces. KLA FLX-5400 utilise une cinématique de mouvement variable pour saisir avec précision les données des plaquettes rapidement et efficacement. Cette technologie permet également de mesurer avec précision les caractéristiques critiques des régimes alimentaires modernes, telles que les caractéristiques de conception des puces et des substrats et les dimensions des plots de liaison. TENCOR FLX 5400 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes très fiable. Ses algorithmes avancés, ses codeurs nanométriques et ses capacités de contrôle de mouvement lui permettent d'analyser et de mesurer avec précision l'intégrité des plaquettes. Il peut détecter et mesurer les plus petites dimensions de caractéristiques et les défauts sur les structures les plus critiques, comme les transistors et les cellules mémoire. L'unité comprend une machine de traitement automatisé des données pour stocker, analyser et signaler rapidement les données mesurées des plaquettes. L'outil a une résolution de 4,5 μ m qui permet d'étudier l'intégrité des petites caractéristiques sur la plaquette. Son atout d'imagerie intégré permet de capturer des images haute résolution sur toute la surface de la plaquette, ce qui permet d'étudier diverses structures et défauts matériels. Le modèle d'imagerie utilise une tête d'imagerie numérique haute résolution couplée à un éclairage laser spécialisé et une optique d'auto-focalisation. L'équipement comprend également des outils logiciels puissants pour l'analyse des données et l'établissement de rapports. Les outils peuvent générer automatiquement des graphiques à barres et des histogrammes pour visualiser rapidement les données des plaquettes et détecter les taches aberrantes. Le logiciel peut également comparer plusieurs images de plaquettes et mesurer la densité de défauts. Le FLX 5400 offre le plus haut niveau de capacités de test de plaquettes et de métrologie dans une machine standard de l'industrie. Ses performances supérieures et son fonctionnement fiable en font une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs.
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