Occasion KLA / TENCOR FLX-5400 #9299886 à vendre en France

KLA/TENCOR FLX-5400 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie qui permet aux utilisateurs d'obtenir une précision et une productivité sans précédent pour le brevetage, la mesure et l'inspection des matériaux semi-conducteurs. Il dispose d'un système de balayage XY ultra-haute résolution, d'une gestion automatisée des plaquettes, d'un étage Z polyvalent et d'éléments optiques de haute précision couplés à des algorithmes logiciels avancés pour une modélisation et une métrologie précises et fiables. KLA FLX-5400 est capable de tester et de mesurer un large éventail de matériaux, y compris le SOI, le silicium contraint, le silicium polycristallin, le nitrure de silicium et d'autres films ultra-minces. Il fournit un revêtement antireflet et une imagerie claire pour un fonctionnement à fort contraste. De plus, son unité de balayage XY rapide permet un mouvement latéral et transversal rapide, permettant un débit allant jusqu'à 6 plaquettes par heure. L'étage Z robuste est animé par un étage moteur linéaire à faible bruit et haute précision et est stable de façon fiable sur une large plage de température. Cela garantit une répétabilité cohérente sur toute la plage de hauteur. L'étage Z offre également une force d'actionnement faible, avec un pas minimal inférieur à 1 nm. TENCOR FLX 5400 dispose d'une machine d'imagerie optique ultra haute résolution avec alignement double axe, optique diffractive, lentilles avancées et conception modulaire. Cet outil fournit une résolution d'image exceptionnelle, avec une résolution de mesure inférieure à 0,1 µm. Il comprend également un actif d'échantillonnage automatisé pour une manipulation rapide et facile des échantillons. KLA FLX 5400 intègre une variété d'outils logiciels pour optimiser l'expérience utilisateur et assurer la précision. Il comprend un logiciel de contrôle des processus pour l'automatisation des mesures de dimension critique (CD) et la génération automatisée de rapports. Il dispose également d'un ordinateur de bord pour la saisie et le contrôle automatisés des images, et d'un logiciel d'analyse et d'inspection des images post-traitement. FLX 5400 est un modèle avancé d'essai de plaquettes et de métrologie pour des applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une résolution d'image exceptionnelle, un balayage XY rapide et un étage Z à faible bruit et haute précision pour une répétabilité et une précision fiables. En outre, ses outils logiciels avancés permettent l'automatisation des processus et l'expérience utilisateur optimisée. Cela en fait la solution parfaite pour la métrologie et l'inspection de haute précision.