Occasion KLA / TENCOR FLX-5500 #138548 à vendre en France

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ID: 138548
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Stress measurement system, 8" Sample Handling: 6" & 8" CE Marked Standard Specifications: Throughput: >54 WPH (8") Measurement: Speed: 5s (6") Range: 1x107 to 4x1010 dynes/cm2 Repeatability: (1σ) < 1x107 dynes/cm2 for 10 measurements Accuracy: <2.5% or 1MPa (whichever is larger) Resolution: kmin (1/m) = 0.000100, Kmax (1/m) = 0.400000 Minimum Radious: 3.0m (for 80mm scan length) Minimum Scan Step: 0.02mm Maximum Points per scan: 1250 Scan Direction: 15°, 30°, 45°, & 90° Scan Range: User programmable up to 8" Detectable Stress: All reflecting films over 1000 Å thick Process Type: Single Wafer (1x) Integrated SMIF (Asyst) Handler Robot: ATM-407B-2-S-CE-S293 (Dual Puck) / Brooks (PRI) Dual Wavelength Scanning GEM/SECS Interface Computer: Pentium 133MHz 16MB Ram 2GB Hdd SVGA Monitor OS SW: msWindows 3.11 /DOS 6.22 Application SW: Version 4.3 Power Requirements: V 208-240, Freq 50/60Hz 2003 vintage.
KLA/TENCOR FLX-5500 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir des solutions d'analyse intégrées à haut débit pour inspecter et surveiller une variété de caractéristiques de plaquettes. KLA FLX-5500 est capable de tester les plaquettes avant et les opérations de métrologie des plaquettes arrière, ce qui en fait une plate-forme polyvalente pour de nombreuses applications telles que la photonique, le MEMS et les semi-conducteurs mobiles avancés. TENCOR FLX 5500 a deux composants principaux : une interface utilisateur/PDU (unité numérique programmable) pour permettre une interaction utilisateur facile et intuitive, et un Wafer Metrology System (WMS) comprenant des composants optiques et RF intégrés pour effectuer des opérations telles que l'inspection optique, l'analyse des défauts, la métrologie, les mesures électriques et d'autres tests spécialisés. L'interface utilisateur/PDU fournit un moyen facile et intuitif pour l'utilisateur de faire fonctionner l'unité. Il comprend un accès rapide aux fonctions de contrôle telles que la sélection de la recette, la configuration de la machine, le contrôle de la numérisation, les paramètres et la révision des données. L'interface utilisateur est également capable de modéliser les données de performance en temps réel, affichant des données de multiples points de vue pour soutenir une prise de décision plus rapide. Le WMS dispose d'outils de métrologie optique et RF à haute performance pour inspecter et mesurer les caractéristiques des plaquettes. L'outil intègre plusieurs composants, dont un spectrographe d'imagerie à spectre complet pour identifier et mesurer les particules électroluminescentes telles que les fissures et les impuretés, un atout d'imagerie auto-focalisé pour vérifier la netteté des caractéristiques, un modèle de cartographie physique automatisé pour surveiller la surface de la plaquette et un équipement de tournage intégré pour mesurer précisément la planéité de la surface. En outre, KLA FLX 5500 comprend également une puissante suite logicielle avec des capacités avancées comme le test automatisé, l'hydratation des défauts et l'optimisation du contrôle des processus, la surveillance complète du matériel, et la sécurité des données robuste. Le logiciel a été conçu pour maximiser les capacités de test automatisé du système, en veillant à ce que chaque plaquette soit testée pour le contrôle de la qualité et l'optimisation des processus. FLX 5500 est une unité compacte et puissante de test et de métrologie de plaquettes qui offre tout ce qui est nécessaire pour tester et contrôler la qualité et les performances de tout type de plaquettes. Avec son interface utilisateur intuitive, ses puissantes capacités de test automatisé et ses composants optiques et RF intégrés, FLX-5500 ensureset fournit des résultats précis, fiables et rentables.
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