Occasion KLA / TENCOR FT-500 #9214047 à vendre en France

KLA/TENCOR FT-500 est un système avancé d'inspection et de métrologie des plaquettes qui offre des capacités avancées, y compris l'examen des défauts en ligne, le débit élevé et l'imagerie haute résolution. Plus précisément, KLA FT-500 fournit un total de 500 aligneurs de plaquettes, permettant jusqu'à 8 plaquettes par heure et par station et accueillant 12 ", 8" et 6 "plaquettes. Grâce à l'optique intégrée et les LED, il peut générer une résolution d'image jusqu'à 1,6 um et un champ de vision maximum de 500 mm. TENCOR FT-500 est équipé du système Automatic Defect Review (ADR) qui permet l'examen automatisé des défauts en ligne et fournit des représentations visuelles de paramètres inférés comme le CD, la rugosité des bords de ligne et tout autre paramètre local ou global. En outre, il supporte également diverses techniques optiques de mesure de CD, et permet l'adaptation simultanée de plaquettes à plaquettes M1 (couche ou mesures). En termes d'éclairage, FT-500 utilise des options d'éclairage avancées telles que le champ lumineux haute résolution, le champ sombre, le rétro-éclairage et l'épi-éclairage, ainsi qu'une gamme de LED et d'options de filtre pour capturer les motifs de plaquettes variables. De plus, son profileur automatique de faisceau et son réglage des paramètres de balayage permettent de contrôler les conditions de faisceau et d'obtenir des balayages uniformes. En ce qui concerne l'analyse et l'amélioration des images, KLA/TENCOR FT-500 dispose de capacités avancées, y compris la recherche automatisée des fonctionnalités, l'affûtage des images, la segmentation des images et la classification automatisée des fonctionnalités. En outre, il comprend également des outils de mesure d'image tels que des graphiques de mesure et des outils pour améliorer la précision de la reconnaissance d'image. En termes de débit, KLA FT-500 est capable d'exécuter jusqu'à 1000 plaquettes par heure en mode batch, tandis qu'en mode scan, il peut gérer jusqu'à 20 plaquettes par heure. Pour optimiser encore les performances de débit, il dispose également d'une capacité de détection d'auto-défaut qui contribue à réduire le temps de mise en place. Enfin, TENCOR FT-500 est livré avec une large gamme d'accessoires et de composants pour une configuration et un entretien pratiques. Dans l'ensemble, FT-500 système d'inspection et de métrologie fournit le plus haut niveau de précision et de débit pour l'inspection des plaquettes et la métrologie. Grâce à son éclairage avancé, son analyse d'image et ses outils de mesure, il est conçu pour améliorer le rendement et réduire les coûts.